[实用新型]一种OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置

说明书

本实用新型公开了OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，转盘上设置开口，转盘的开口率W为该开口的面积与整个转盘面积的比例，转盘的中央与转轴的一端连接，转轴转动便带动转盘转动；初始位置传感器设置在转轴的另一端，感应转盘的位置是否处于初始位置；装载盘上设置间隔均匀、呈圆周分布的若干个石英晶振片，装载盘由外部机构控制可旋转；初始位置为转盘上的一开口对准装载盘上的一石英晶振片，装载盘每旋转石英晶振片的间隔距离后，石英晶振片均对准转盘的开口。本实用新型把量产过程中晶振片无法及时有效监控材料蒸镀速率，提前到生产前、统一大速率去预先镀膜，从而避免生产过程中宕机情况，并缩短预镀时间，提高生产效率。

技术领域

本实用新型属于蒸镀监测技术领域，特别涉及OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置。

背景技术

有机发光二极管OLED在生产过程中因镁材料在石英晶振片表面沉积难以成膜而无法监控到镁材料实际蒸镀速率，从而无法精确控制镁材料蒸镀的膜厚问题。因为镁材料较难在石英晶振片上沉积，在石英晶振片切换后，较长时间内无法监控到镁实际蒸发速率，导致生产中断，一个生产周期最大需要切换11次晶振片，生产预计需要停机11h左右，严重影响有机发光二极管产品产能。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种技术方案，能够给石英晶振片进行预镀一定膜厚处理，通过生产前大速率、短时间内自动完成石英晶振片表面成膜沉积，在实际生产中切换石英晶振片保证蒸镀速率正常监控，确保蒸镀膜厚精确控制，大大缩短停机时长，显著提高生产产能。

为达到上述目的，本实用新型提供了OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，包括蒸镀源、蒸镀基板、膜厚监测探头、探头内衬和探头波纹管，所述膜厚监测探头中设置转盘、转轴、初始位置传感器、装载盘和石英晶振片，其中，

所述转盘上设置开口，转盘的开口率W为所设开口的面积与整个转盘面积的比例，转盘的中央与转轴的一端连接，转轴转动便带动转盘转动；

所述初始位置传感器设置在转轴的另一端，感应转盘的位置是否处于初始位置；

所述装载盘上设置间隔均匀、呈圆周分布的若干个石英晶振片，装载盘由外部机构控制可旋转；

所述初始位置为转盘上的一开口对准装载盘上的一石英晶振片，装载盘每旋转石英晶振片的间隔距离后，石英晶振片均对准转盘的开口。

优选地，所述开口设置一个。

优选地，所述开口设置对称的两个。

优选地，所述转盘与转轴通过螺丝连接。

优选地，所述石英晶振片设置12个。

本实用新型的有益效果至少包括：

1、装置上增设带开口的转盘和初始位置传感器，使预镀时石英晶振片对准转盘的开口，并在石英晶振片上快速预镀上目标预镀膜厚，大大缩短预镀时间；

2、转盘上开口优化，可设置转盘开口对称，石英晶振片寿命满足生产周期144h需求的前提下，转盘开口率设置为10％，转盘上的单开口大小可完全暴露晶振片，转盘的开口对准石英晶振片，此时达到石英晶振片上的材料量为转盘转动时的10倍，缩短每片石英晶振片预镀时间为原来的1/10(转盘不停转的时候，速率只有而转盘停转时，速率达到等转盘恢复转速时，速率又恢复到不需要更改蒸发源的温度控制参数，即可实现大速率下镁蒸发源对应的石英晶振片预镀处理，故本实用新型可大大缩短预镀时间；

3、增加预镀功能，输入预镀参数即可进行镁晶振片的预镀功能，把量产过程中镁晶振片无法及时有效监控材料蒸镀速率，提前到生产前、统一大速率去预先镀膜，从而避免生产过程中宕机，并缩短预镀时间，提高生产效率。

附图说明

为了使本实用新型的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本实用新型提供如下附图进行说明：