[实用新型]一种OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置有效
| 申请号： | 202221440567.7 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN217839101U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张帆;赵亮;孙浩;刘鹏举;李牧词 | 申请（专利权）人： | 广西自贸区睿显科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;G01B21/08 |
| 代理公司： | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人： | 雷仕荣 |
| 地址： | 535000 广西壮族自治区钦州市中国（广西）自由贸易*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 oled 生产过程 石英 晶振片 沉积 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，包括蒸镀源、蒸镀基板、膜厚监测探头、探头内衬和探头波纹管，其特征在于，所述膜厚监测探头中设置转盘、转轴、初始位置传感器、装载盘和石英晶振片，其中，
所述转盘上设置开口，转盘的开口率W为所设开口的面积与整个转盘面积的比例，转盘的中央与转轴的一端连接，转轴转动便带动转盘转动；
所述初始位置传感器设置在转轴的另一端，感应转盘的位置是否处于初始位置；
所述装载盘上设置间隔均匀、呈圆周分布的若干个石英晶振片，装载盘由外部机构控制可旋转；
所述初始位置为转盘上的一开口对准装载盘上的一石英晶振片，装载盘每旋转石英晶振片的间隔距离后，石英晶振片均对准转盘的开口。
2.根据权利要求1所述的OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，其特征在于，所述开口设置一个。
3.根据权利要求1所述的OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，其特征在于，所述开口设置对称的两个。
4.根据权利要求1所述的OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，其特征在于，所述转盘与转轴通过螺丝连接。
5.根据权利要求1所述的OLED生产过程中石英晶振片沉积监测装置，其特征在于，所述石英晶振片设置12个。
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