[实用新型]一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置

权利要求书

1.一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，包括储液槽，其特征在于：所述储液槽上设置有循环出口、循环入口和减压循环入口，所述循环出口和循环入口之间连接有带循环泵的循环管道，所述储液槽内安装有温度传感器和对储液槽内药液进行加热的加热装置，所述储液槽上设置有出液口，所述出液口与带出液泵的出液管道一端连通，出液管道的另一端分别与供液管道和减压循环管道相连通，所述供液管道的另一端与单片湿法刻蚀机的刻蚀腔内的喷淋头连通，所述减压循环管道的另一端与储液槽上的减压循环入口连通，所述供液管道和减压循环管道上分别设置有第一控制阀和第二控制阀。

2.如权利要求1所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述供液管道上设置有三通控制阀，所述三通控制阀的两个接口连接在供液管道上，另一个接口连接有辅助循环管道，该辅助循环管道与储液槽连通。

3.如权利要求2所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述出液管道上设置有过滤器。

4.如权利要求3所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述循环入口上设置有伸入到药液中的槽内管段，该槽内管段的端部设置有出液搅拌头。

5.如权利要求4所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述供液管道上位于喷淋头的上游设置有压力表，所述储液槽上设置有液位传感器。

6.如权利要求5所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述第一控制阀和第二控制阀均为气动控制阀，所述第一控制阀和第二控制阀的控制气路上分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀。

7.如权利要求6所述的一种单片湿法刻蚀机的恒温供液装置，其特征在于：所述刻蚀腔的底部和储液槽之间设置有回流管道。