[实用新型]一种硅片夹具和石墨舟

权利要求书

1.一种硅片夹具，其特征在于，夹设于石墨舟片，所述硅片夹具包括连接块、第一遮挡片、第二遮挡片和收容空间，所述连接块连接所述第一遮挡片和所述第二遮挡片；所述连接块、所述第一遮挡片和所述第二遮挡片围成所述收容空间，所述石墨舟片设于所述收容空间并将所述收容空间分为第一收容槽和第二收容槽，所述第一收容槽和所述第二收容槽分别收容第一硅片和第二硅片；所述第一遮挡片遮挡所述第一硅片背离所述石墨舟片一面的栅线；所述第二遮挡片遮挡所述第二硅片背离所述石墨舟片一面的栅线。

2.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一遮挡片形成有多个间隔的第一遮挡条，多个所述第一遮挡条遮挡所述第一硅片背离所述石墨舟片一面的副栅；和/或，所述第二遮挡片形成有多个间隔的第二遮挡条，多个所述第二遮挡条遮挡所述第二硅片背离所述石墨舟片一面的副栅。

3.根据权利要求2所述的硅片夹具，其特征在于，所述连接块包括顶壁、第一侧臂和第二侧臂，所述第一侧臂和所述第二侧臂分别自所述顶壁的两个边缘向外延伸，并分别与多个所述第一遮挡条和多个所述第二遮挡条连接。

4.根据权利要求2所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一遮挡条的宽度为20μm-150μm；和/或，所述第二遮挡条的宽度为20μm-150μm。

5.根据权利要求2所述的硅片夹具，其特征在于，相邻的两个所述第一遮挡条的间距为0.5mm-3mm；和/或，相邻的两个所述第二遮挡条的间距为0.5mm-3mm。

6.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述连接块包括连接顶边，所述连接顶边位于所述连接块远离所述第一遮挡片和所述第二遮挡片一端，并与所述石墨舟片的长度方向平行；

所述第一硅片在所述第一遮挡片上的投影与所述第一遮挡片重合，所述第一遮挡片包括第一顶边，所述第一顶边位于所述第一遮挡片靠近所述连接块的一端，并与所述连接顶边呈第一角度；

和/或，所述第二硅片在所述第二遮挡片上的投影与所述第二遮挡片重合，所述第二遮挡片包括第二顶边，所述第二顶边位于所述第二遮挡片靠近所述连接块的一端，并与所述连接顶边呈第二角度。

7.根据权利要求6所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一角度为0°-30°；

和/或，所述第二角度为0°-30°。

8.根据权利要求6所述的硅片夹具，其特征在于，所述第一角度和所述第二角度相等。

9.根据权利要求1所述的硅片夹具，其特征在于，所述连接块为陶瓷连接块或石墨连接块；和/或，所述第一遮挡片为第一陶瓷遮挡片或第一石墨遮挡片；和/或，所述第二遮挡片为第二陶瓷遮挡片或第二石墨遮挡片。

10.一种石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片和权利要求1-9任一项所述的硅片夹具，所述硅片夹具夹设于所述石墨舟片。