[实用新型]晶圆化学镀花篮载具移动机械手

说明书

本实用新型是晶圆化学镀花篮载具移动机械手，其特征在于，包括水平设置的一对滑轨安装板，沿滑轨安装板顶面长度方向设有滑轨，滑块滑动连接滑轨，滑块固定在安装板底面上，安装板上装有横移驱动机构，安装板外侧端连接直架顶端，直架两侧沿长度方向设有升降滑轨，升降架两侧通过升降滑块与升降滑轨滑动连接，直架顶端装有升降驱动机构，升降驱动机构输出端升降驱动连接升降架，升降架底部连接架子，装有晶圆片的晶圆花篮载具放置在架子上。本实用新型的优点：结构设计合理，可实现安装在化学镀设备顶部内壁顶部，使得化学镀设备顶部前中侧有设置其它机构的位置，优化了整体结构，且移动稳定性高。

技术领域

本实用新型涉及的是晶圆化学镀花篮载具移动机械手。

背景技术

晶圆化学镀生产中，需要使晶圆在多个不同槽体内移动，以进行不同工艺步骤，移动时装载在花篮载具中。

现有技术花篮载具移动机构一般沿着化学镀设备顶部前中侧吊挂设置，导致顶部无法有效设置其它结构，合理性不足，还存在移动不稳定等问题，无法有效满足生产需要。

实用新型内容

本实用新型提出的是晶圆化学镀花篮载具移动机械手，其目的旨在克服现有技术存在的上述不足，实现可沿化学镀设备顶部后侧设置，且运行稳定性高。

本实用新型的技术解决方案：晶圆化学镀花篮载具移动机械手，其特征在于，包括水平设置的一对滑轨安装板，沿滑轨安装板顶面长度方向设有滑轨，滑块滑动连接滑轨，滑块固定在安装板底面上，安装板上装有横移驱动机构，安装板外侧端连接直架顶端，直架两侧沿长度方向设有升降滑轨，升降架两侧通过升降滑块与升降滑轨滑动连接，直架顶端装有升降驱动机构，升降驱动机构输出端升降驱动连接升降架，升降架底部连接架子，装有晶圆片的晶圆花篮载具放置在架子上。

优选的，所述的横移驱动机构包括横移驱动电机，横移驱动电机输出端通过导向齿轮啮合连接安装板上沿一侧滑轨侧面设置的导向齿条。

本实用新型的优点：结构设计合理，可实现安装在化学镀设备顶部内壁顶部，使得化学镀设备顶部前中侧有设置其它机构的位置，优化了整体结构，且移动稳定性高。

附图说明

图1是本实用新型晶圆化学镀花篮载具移动机械手的立体结构示意图。

图2是本实用新型晶圆化学镀花篮载具移动机械手的俯视结构示意图。

图中的1是滑轨、2是滑块、3是安装板、4是横移驱动机构、5是直架、6是升降驱动机构、7是升降架、8是架子、9是晶圆花篮载具、10是晶圆片、11是滑轨安装板、12是导向齿条、13是升降滑轨、14是升降滑块。

具体实施方式

下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1、2所示，晶圆化学镀花篮载具移动机械手，其结构包括水平设置的一对滑轨安装板11，沿滑轨安装板11顶面长度方向设有滑轨1，滑块2滑动连接滑轨1，滑块2固定在安装板3底面上，安装板3上装有横移驱动机构4，安装板3外侧端连接直架5顶端，直架5两侧沿长度方向设有升降滑轨13，升降架7两侧通过升降滑块14与升降滑轨13滑动连接，直架5顶端装有升降驱动机构6，升降驱动机构6输出端升降驱动连接升降架7，升降架7底部连接架子8，装有晶圆片10的晶圆花篮载具9放置在架子8上。

横移驱动机构4包括横移驱动电机，横移驱动电机输出端通过导向齿轮啮合连接安装板3上沿一侧滑轨1侧面设置的导向齿条12。横移驱动电机运行时，导向齿轮沿着导向齿条12移动，实现安装板3通过滑块2沿滑轨1左右滑动。

升降驱动机构6可根据现有技术选择，比如可设置电机及丝杆螺母副带动升降架7上下移动。