[实用新型]一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备有效

专利信息
申请号: 202221243306.6 申请日: 2022-05-23
公开(公告)号: CN217550292U 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 霍建辉 申请(专利权)人: 北旭(湖北)电子材料有限公司
主分类号: B05C11/08 分类号: B05C11/08;B05C13/02
代理公司: 重庆卓茂专利代理事务所(普通合伙) 50262 代理人: 徐顺荣
地址: 433122 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 精确 定位 光刻 生产 工用 涂胶 设备
【权利要求书】:

1.一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:包括工作台(10),所述工作台(10)的上部安装有滴胶机构(11),所述工作台(10)的内部安装有旋转台(12),所述旋转台(12)的上部设置有放置座(13),所述旋转台(12)的上部均匀设置有轨道座(14),所述轨道座(14)至少为四组,所述轨道座(14)的外侧设置有移动座(15),所述移动座(15)的上部安装有夹持座(16),所述旋转台(12)的内部安装有气缸(17),所述气缸(17)的伸缩端设置有拉伸架(18),所述拉伸架(18)的内部设置有拉伸板(19),所述拉伸板(19)的上部与所述移动座(15)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:所述旋转台(12)包括旋转架(120)、连杆(121)与驱动电机(122),所述旋转架(120)活动连接在所述工作台(10)的内部,所述连杆(121)固定连接在所述旋转架(120)的底部,所述驱动电机(122)安装在所述工作台(10)的内部,所述驱动电机(122)的传动轴与所述连杆(121)的底部相连接。

3.根据权利要求2所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:所述移动座(15)与所述拉伸架(18)的内部均开设有卡接槽,所述拉伸板(19)的上下两侧均卡接在所述卡接槽的内部。

4.根据权利要求3所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:所述移动座(15)的内部均匀开设有螺接槽,所述夹持座(16)的内部均匀设置有螺杆,所述螺杆与螺接槽相螺接,所述夹持座(16)通过螺杆固定在所述移动座(15)的上部。

5.根据权利要求4所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:所述旋转台(12)的内部均匀开设有作用槽,所述移动座(15)活动连接在所述作用槽的内部。

6.根据权利要求5所述的一种精确定位的光刻胶生产加工用涂胶设备,其特征在于:所述夹持座(16)的内部设置有卡接槽,所述卡接槽的内部设置有缓冲簧,所述缓冲簧的另一端设置有夹持块,所述夹持块的外侧位于所述卡接槽的内部。

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