[实用新型]一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置

说明书

本实用新型公开了一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，包括外管体、内管体和密封环，所述外管体的内部固定设有内管体，所述外管体的一端套设连接密封环，所述密封环由外套环和内套环组成，所述外套环的内部套设连接有内套环，所述外套环与内套环之间连接有连接块，所述外套环与外管体套设连接，所述内套环与内管体套设连接，所述外套环内壁的两侧均开设有弧形槽。本实用新型通过设有的密封环便于相邻两个双套管的连接，并通过密封环设有的外套环和内套环，通过旋钮的转动带动螺纹杆的转动，通过螺纹杆的转动带动第二弧形块的升降，使第二弧形块与内管体内壁紧密接触，有效保证内管体与外管体连接处的密封性。

技术领域

本实用新型涉及一种密封装置，特别涉及一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，属于半导体技术领域。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

目前的半导体光伏制造时，一般使用双套管进行物料的舒适，但是目前的双套管的连接部位，容易造成内管体与外管体连接部位密封不完全，影响双套管的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括外管体、内管体和密封环，所述外管体的内部固定设有内管体，所述外管体的一端套设连接密封环，所述密封环由外套环和内套环组成，所述外套环的内部套设连接有内套环，所述外套环与内套环之间连接有连接块，所述外套环与外管体套设连接，所述内套环与内管体套设连接，所述外套环内壁的两侧均开设有弧形槽，所述弧形槽的内部固定安装有挤压弹簧，所述挤压弹簧的一端固定安装有第一弧形块，所述第一弧形块的内壁与外管体的外壁连接，所述弧形槽的内部转动连接有螺纹推杆的一端穿过挤压弹簧与第一弧形块的一侧接触连接，所述内套环的内壁开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述滑槽的内部转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆与滑块的中部螺纹连接，所述滑块的一侧固定设有第二弧形块，所述第二弧形块的一侧固定设有密封垫。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外管体的外径外套环的内径相匹配。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述第一弧形块的内壁等距开设有均匀分布的防滑纹。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述密封垫的一侧与内管体的内壁接触连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述螺纹杆的一端穿过滑槽固定安装有旋钮。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述外套环与外管体的连接处套设有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，通过设有的密封环便于相邻两个双套管的连接，并通过密封环设有的外套环和内套环，通过旋钮的转动带动螺纹杆的转动，通过螺纹杆的转动带动第二弧形块的升降，使第二弧形块与内管体内壁紧密接触，有效保证内管体与外管体连接处的密封性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的内套环剖面结构示意图；

图3为本实用新型的密封环结构示意图；

图4为本实用新型图1中A处局部放大图。