[实用新型]一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置

权利要求书

1.一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，包括外管体(1)、内管体(2)和密封环(3)，其特征在于，所述外管体(1)的内部固定设有内管体(2)，所述外管体(1)的一端套设连接密封环(3)，所述密封环(3)由外套环(4)和内套环(6)组成，所述外套环(4)的内部套设连接有内套环(6)，所述外套环(4)与内套环(6)之间连接有连接块(5)，所述外套环(4)与外管体(1)套设连接，所述内套环(6)与内管体(2)套设连接，所述外套环(4)内壁的两侧均开设有弧形槽(8)，所述弧形槽(8)的内部固定安装有挤压弹簧(9)，所述挤压弹簧(9)的一端固定安装有第一弧形块(10)，所述第一弧形块(10)的内壁与外管体(1)的外壁连接，所述弧形槽(8)的内部转动连接有螺纹推杆(7)的一端穿过挤压弹簧(9)与第一弧形块(10)的一侧接触连接，所述内套环(6)的内壁开设有滑槽(14)，所述滑槽(14)的内部滑动连接有滑块(16)，所述滑槽(14)的内部转动连接有螺纹杆(15)，所述螺纹杆(15)与滑块(16)的中部螺纹连接，所述滑块(16)的一侧固定设有第二弧形块(11)，所述第二弧形块(11)的一侧固定设有密封垫(12)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，其特征在于：所述外管体(1)的外径外套环(4)的内径相匹配。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，其特征在于：所述第一弧形块(10)的内壁等距开设有均匀分布的防滑纹。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，其特征在于：所述密封垫(12)的一侧与内管体(2)的内壁接触连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，其特征在于：所述螺纹杆(15)的一端穿过滑槽(14)固定安装有旋钮(13)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体光伏制造的双套管密封装置，其特征在于：所述外套环(4)与外管体(1)的连接处套设有密封圈。