[实用新型]一种单晶硅片加工用的金刚线切片机有效

专利信息
申请号: 202221122614.3 申请日: 2022-05-11
公开(公告)号: CN217802580U 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 陈春成;戚建静;徐芳 申请(专利权)人: 江苏晶品新能源科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 周瑜
地址: 225600 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 工用 金刚 切片机
【说明书】:

实用新型公开了一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体,所述调节装置包括固定连接于机体顶部的电机,所述电机的输出轴上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离电机的一端活动连接有限位块,所述螺纹杆的外部活动连接有螺纹套,所述螺纹套的右侧固定连接有滑块,所述螺纹套的左侧固定连接有移动板,所述移动板的左侧固定连接有滑套,所述滑套的内部活动连接有滑杆。该单晶硅片加工用的金刚线切片机,通过启动电机带动螺纹杆转动,螺纹杆转动时带动螺纹套上下位移,螺纹套上下位移时带动移动板位移,移动板上下位移带动安装块位移,安装块位移带动连接板位移,从而移动板位移时带动切片装置上下位移,达到了便于调节切片的硅片尺寸的优点。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种单晶硅片加工用的金刚线切片机。

背景技术

硅片是硅材料存在的一种物理形式,在正常的应用中,硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体的发展,自动化和计算机等技术发展,使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度,然而硅片在加工时,不同的工艺节点都会使得硅片加工出现瑕疵。

硅片一般都是通过相应的硅碇进行切片而成,硅片的厚度和长度普遍不一致,形状也不相同,而现有的切片机无法对硅片的尺寸进行调节,只能对单一的硅片进行切片处理,实用性较低。

实用新型内容

实用新型目的:针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种单晶硅片加工用的金刚线切片机。

技术方案:一种单晶硅片加工用的金刚线切片机,包括机体,所述机体的外部设有延伸至其内的调节装置;

所述调节装置包括固定连接于机体顶部的电机,所述电机的输出轴上固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆远离电机的一端活动连接有限位块,所述螺纹杆的外部活动连接有螺纹套,所述螺纹套的右侧固定连接有滑块,所述螺纹套的左侧固定连接有移动板,所述移动板的左侧固定连接有滑套,所述滑套的内部活动连接有滑杆。

进一步,所述螺纹杆远离电机的一端延伸至机体的内部,所述限位块与机体固定连接,所述滑块远离螺纹套的一端延伸至电机的内部,所述电机的内部开设有与滑块相适配的滑槽。

进一步,所述移动板的底部固定连接有安装块,所述安装块的底部固定连接有连接板,所述连接板的底部固定连接有切片装置。

进一步,所述机体的外部设有延伸至其内的清洗装置,所述清洗装置包括固定连接于机体顶部的水箱,所述水箱的出水端固定连接有连接管,所述连接管的左侧固定连接有水泵,所述水泵的左侧固定连接有软管,所述软管远离水泵的一端固定连接有喷水口。

进一步,所述软管远离水泵的一端延伸至机体内部,所述软管与连接板固定连接。

进一步,所述机体的内底壁上固定连接有固定台,所述固定台的顶部固定连接有放置台。

进一步,所述放置台的顶部设有夹持组件,所述夹持组件包括固定连接于放置台顶部的固定块,所述固定块的顶部固定连接有电动推杆,所述电动推杆的输出端上固定连接有夹持板,所述放置台的顶部固定连接有限位板。

有益效果:

1、该单晶硅片加工用的金刚线切片机,通过启动电机带动螺纹杆转动,螺纹杆转动时带动螺纹套上下位移,螺纹套上下位移时带动移动板上下位移,移动板上下位移时带动安装块上下位移,安装块位移时带动连接板上下位移,从而移动板上下位移时带动切片装置上下位移,达到了便于调节切片的硅片尺寸的优点。

2、该单晶硅片加工用的金刚线切片机,使用者将单晶硅片放至放置台顶部后,通过夹持装置将其固定,切割装置对单晶硅片进行切割,防止单晶硅片在切割时位置产生偏移导致硅片的损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构剖视图;

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