[实用新型]芯片检测设备有效
申请号: | 202221090802.2 | 申请日: | 2022-05-07 |
公开(公告)号: | CN217277952U | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
发明(设计)人: | 李英坤;陈文龙;徐兵燕;陈龙;姜豪;刘风雷 | 申请(专利权)人: | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;G01N21/01 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 检测 设备 | ||
1.一种芯片检测设备,其特征在于,包括:固定背板(100)、第一滑动板(210)、第二滑动板(220)、检测相机(400)和光源组件,所述固定背板(100)与所述第一滑动板(210)之间连接有第一升降机构,所述第一升降机构用于带动所述第一滑动板(210)相对于所述固定背板(100)上下运动;所述第二滑动板(220)与所述第一滑动板(210)之间连接有第二升降机构,所述第二升降机构用于带动所述第一滑动板(210)沿竖向运动;
所述检测相机(400)与所述第一滑动板(210)连接,所述光源组件与所述第二滑动板(220)连接,所述光源组件位于所述检测相机(400)的下方,所述光源组件上具有自上而下贯穿所述光源组件的拍摄通道,所述拍摄通道用于避让所述检测相机(400),以使所述检测相机(400)能够通过所述拍摄通道采集所述光源组件下方的芯片的图像信息。
2.根据权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述第一升降机构包括第一滑轨(610)和第一滑块(620),所述第一滑块(620)与所述第一滑轨滑动连接,所述第一滑轨沿竖向延伸,所述第一滑轨与所述固定背板(100)连接,所述第一滑块(620)与所述第一滑动板(210)连接。
3.根据权利要求2所述的芯片检测设备,其特征在于,所述第一升降机构包括第一丝杠滑台模组(710),所述第一丝杠滑台模组(710)包括第一丝杠、第一滑台和电机,所述第一滑台与所述第一丝杠连接,所述第一丝杠与所述电机连接,所述电机用于驱动所述第一丝杠转动,以使所述第一滑台沿竖向运动;
所述第一丝杠滑台模组(710)的固定部与固定背板(100)连接,所述第一滑台与所述第一滑动板(210)连接。
4.根据权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述光源组件包括沿上下方向依次设置的同轴光源(510)和环形补光灯(520),所述同轴光源(510)上设有位于拍摄通道上的入口和出口,所述出口对准环形补光灯(520)的拍摄圆孔。
5.根据权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述第二升降机构包括第二滑轨(810)和第二滑块(820),所述第二滑块(820)与所述第二滑轨滑动连接,所述第二滑轨沿竖向延伸,所述第二滑轨与所述第一滑动板(210)连接,所述第二滑块(820)与所述第二滑动板(220)连接。
6.根据权利要求1所述的芯片检测设备,其特征在于,所述第二升降机构包括第二丝杠滑台模组,所述第二丝杠滑台模组包括第二丝杠(910)、第二滑台(920)和驱动单元,所述第二滑台(920)与所述第二丝杠(910)连接,所述第二丝杠(910)与所述驱动单元连接,所述驱动单元用于驱动所述第二丝杠(910)转动,以使所述第二滑台(920)沿竖向运动。
7.根据权利要求6所述的芯片检测设备,其特征在于,所述驱动单元包括能够旋转的主轴(320),所述主轴(320)与所述第二丝杠(910)垂直,所述主轴(320)的首端设置有第一锥齿轮,所述第二丝杠(910)的底端设置有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮,以使所述主轴(320)能够带动所述第二丝杠(910)旋转。
8.根据权利要求7所述的芯片检测设备,其特征在于,所述驱动单元包括与所述主轴(320)连接的手轮(310);
所述驱动单元包括锁死结构,所述锁死结构锁死后用于阻止所述手轮(310)旋转。
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