[实用新型]一种探针卡校正设备有效

专利信息
申请号: 202221048261.7 申请日: 2022-05-05
公开(公告)号: CN217385806U 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 张敏;李潇 申请(专利权)人: 盛华微纳科技(苏州)有限公司
主分类号: G01R35/00 分类号: G01R35/00;G01R1/067
代理公司: 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 代理人: 周佳
地址: 215121 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 探针 校正 设备
【说明书】:

实用新型公开了一种探针卡校正设备,包括底座,所述底座的上方设有一号调节座,所述一号调节座的内部设有二号调节座,所述二号调节座的内部转动连接有双向丝杆,本实用新型的有益效果是:通过加入三号转盘、双向丝杆、三号滑块和滚轮等结构相互配合使用,有利于对探针卡夹紧固定,减小工作人员的劳动强度,提高对探针卡的探针校正的准确性,通过加入一号转盘、一号丝杆、一号滑块和二号滑块等结构相互配合使用,有利于对固定后的探针卡的倾角调节,方便工作人员在最舒适的角度对探针卡的探针校正,通过加入二号转盘、蜗杆、蜗轮和转轴,有利于对二号调节座的方位调节,从而改变探针卡的方位,从其他方位对探针卡的探针校正。

技术领域

本实用新型涉及探针卡技术领域,具体为一种探针卡校正设备。

背景技术

探针卡校正,即工作人员通过显微镜的观察对探针的纵向与横向偏斜的校正、及探针的平均高度校正。现在的校正方式都是工作人员手持探针卡对探针卡进行校正,劳动强度大,且校正过程中探针卡不稳定,就会导致探针倾斜,影响校正的准确性,不利于实际使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种探针卡校正设备,包括底座,所述底座的上方设有一号调节座,所述一号调节座的内部设有二号调节座,所述二号调节座的内部转动连接有双向丝杆,所述双向丝杆的一端延伸至二号调节座的外侧固定连接有三号转盘,所述双向丝杆的外侧两端对称螺纹连接有三号滑块,两个所述三号滑块的一端延伸至二号调节座的顶部均固定连接有支撑块,两个所述支撑块的一侧均对称固定连接有固定杆,两个所述固定杆的顶部均转动连接有滚轮。

作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述底座的顶部且位于一号调节座的一侧固定连接有支柱,所述支柱靠近一号调节座的一侧固定连接有支撑板,所述支撑板的内部固定安装有显微镜,所述底座的顶部开设有一号滑槽,所述一号滑槽的内部滑动连接有二号滑块,所述二号滑块的顶端与一号调节座的底部转动连接,所述支柱靠近支撑板的一侧固定连接有固定块,所述固定块的内部转动连接有一号丝杆,所述一号丝杆的顶端固定连接有一号转盘,所述一号丝杆的底端与底座转动连接,所述一号丝杆的外侧螺纹连接有一号滑块,所述一号滑块与一号调节座的一侧转动连接。

作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述一号调节座的内部转动连接有蜗杆,所述蜗杆的一端延伸至一号调节座的外侧固定连接有二号转盘,所述蜗杆的一侧啮合连接有蜗轮,所述蜗轮的中部固定连接有转轴,所述转轴的一端与一号调节座内部的底部转动连接,所述转轴的另一端与二号调节座的底部固定连接。

作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述一号调节座的内部两侧对称固定连接有限位块,所述二号调节座的内部两侧对称开设有限位槽,所述限位块与限位槽滑动连接。

作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述三号滑块与二号调节座的内部滑动连接。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:结构新颖操作便捷,且实用性强通过加入三号转盘、双向丝杆、三号滑块和滚轮等结构相互配合使用,有利于对探针卡夹紧固定,减小工作人员的劳动强度,提高对探针卡的探针校正的准确性,通过加入一号转盘、一号丝杆、一号滑块和二号滑块等结构相互配合使用,有利于对固定后的探针卡的倾角调节,方便工作人员在最舒适的角度对探针卡的探针校正,通过加入二号转盘、蜗杆、蜗轮和转轴,有利于对二号调节座的方位调节,从而改变探针卡的方位,从其他方位对探针卡的探针校正。

附图说明

图1为本实用新型的剖面结构示意图;

图2为本实用新型的正视图;

图3为本实用新型的二号调节座俯视图;

图4为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

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