[实用新型]一种探针卡校正设备

权利要求书

1.一种探针卡校正设备，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上方设有一号调节座(5)，所述一号调节座(5)的内部设有二号调节座(6)，所述二号调节座(6)的内部转动连接有双向丝杆(18)，所述双向丝杆(18)的一端延伸至二号调节座(6)的外侧固定连接有三号转盘(17)，所述双向丝杆(18)的外侧两端对称螺纹连接有三号滑块(19)，两个所述三号滑块(19)的一端延伸至二号调节座(6)的顶部均固定连接有支撑块(20)，两个所述支撑块(20)的一侧均对称固定连接有固定杆(21)，两个所述固定杆(21)的顶部均转动连接有滚轮(22)。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡校正设备，其特征在于：所述底座(1)的顶部且位于一号调节座(5)的一侧固定连接有支柱(2)，所述支柱(2)靠近一号调节座(5)的一侧固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的内部固定安装有显微镜(4)，所述底座(1)的顶部开设有一号滑槽(11)，所述一号滑槽(11)的内部滑动连接有二号滑块(12)，所述二号滑块(12)的顶端与一号调节座(5)的底部转动连接，所述支柱(2)靠近支撑板(3)的一侧固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的内部转动连接有一号丝杆(9)，所述一号丝杆(9)的顶端固定连接有一号转盘(8)，所述一号丝杆(9)的底端与底座(1)转动连接，所述一号丝杆(9)的外侧螺纹连接有一号滑块(10)，所述一号滑块(10)与一号调节座(5)的一侧转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种探针卡校正设备，其特征在于：所述一号调节座(5)的内部转动连接有蜗杆(14)，所述蜗杆(14)的一端延伸至一号调节座(5)的外侧固定连接有二号转盘(13)，所述蜗杆(14)的一侧啮合连接有蜗轮(15)，所述蜗轮(15)的中部固定连接有转轴(16)，所述转轴(16)的一端与一号调节座(5)内部的底部转动连接，所述转轴(16)的另一端与二号调节座(6)的底部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种探针卡校正设备，其特征在于：所述一号调节座(5)的内部两侧对称固定连接有限位块(23)，所述二号调节座(6)的内部两侧对称开设有限位槽(24)，所述限位块(23)与限位槽(24)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡校正设备，其特征在于：所述三号滑块(19)与二号调节座(6)的内部滑动连接。