[实用新型]半导体制绒试剂浓度调节装置有效
申请号: | 202220973174.6 | 申请日: | 2022-04-25 |
公开(公告)号: | CN217606777U | 公开(公告)日: | 2022-10-18 |
发明(设计)人: | 郁亮;周志坚;李兴元;王建远;徐强 | 申请(专利权)人: | 昆山金城试剂有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/306 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 试剂 浓度 调节 装置 | ||
1.半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,包括原料罐、纯水注入管、混合管和集料罐,所述原料罐的底部设置有L型的出液管,所述混合管的管口与所述出液管的管口之间通过弧形管连接,所述纯水注入管从上方垂直插入所述弧形管中;所述混合管为蛇形盘管,其底部出口与所述集料罐的顶部入口连接。
2.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述纯水注入管的管口向所述弧形管的上方弧形内壁弯曲形成弯曲部,所述弯曲部与纯水注入管的直身之间形成120度至160度的夹角。
3.根据权利要求2所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述弯曲部与纯水注入管的直身之间形成150度的夹角。
4.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述蛇形盘管的与所述纯水注入管的连接部为竖直管,所述竖直管的内壁沿其直身设置有数个等距设置的挡板,所述挡板相对内壁的一端向下倾斜60度至80度。
5.根据权利要求4所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述挡板相对内壁的一端向下倾斜75度。
6.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述蛇形盘管的与所述集料罐的连接部为竖直管一,所述竖直管一的管口向一侧倾斜弯曲。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山金城试剂有限公司,未经昆山金城试剂有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220973174.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造