[实用新型]半导体制绒试剂浓度调节装置有效

专利信息
申请号: 202220973174.6 申请日: 2022-04-25
公开(公告)号: CN217606777U 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 郁亮;周志坚;李兴元;王建远;徐强 申请(专利权)人: 昆山金城试剂有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/306
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 半导体 试剂 浓度 调节 装置
【权利要求书】:

1.半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,包括原料罐、纯水注入管、混合管和集料罐,所述原料罐的底部设置有L型的出液管,所述混合管的管口与所述出液管的管口之间通过弧形管连接,所述纯水注入管从上方垂直插入所述弧形管中;所述混合管为蛇形盘管,其底部出口与所述集料罐的顶部入口连接。

2.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述纯水注入管的管口向所述弧形管的上方弧形内壁弯曲形成弯曲部,所述弯曲部与纯水注入管的直身之间形成120度至160度的夹角。

3.根据权利要求2所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述弯曲部与纯水注入管的直身之间形成150度的夹角。

4.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述蛇形盘管的与所述纯水注入管的连接部为竖直管,所述竖直管的内壁沿其直身设置有数个等距设置的挡板,所述挡板相对内壁的一端向下倾斜60度至80度。

5.根据权利要求4所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述挡板相对内壁的一端向下倾斜75度。

6.根据权利要求1所述的半导体制绒试剂浓度调节装置,其特征在于,所述蛇形盘管的与所述集料罐的连接部为竖直管一,所述竖直管一的管口向一侧倾斜弯曲。

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