[实用新型]一种晶圆点测用载台运动机构及点测机

权利要求书

1.一种晶圆点测用载台运动机构，包括承载待测晶圆的载台（1）、移动板（4）和基板（2）；所述移动板（4）上设置有X向运动机构（5），所述X向运动机构（5）与所述载台（1）相连，并带动所述载台（1）在X向的运动；所述基板（2）上设置有Y向运动机构（3），所述Y向运动机构（3）与所述移动板（4）相连，并带动所述移动板（4）在Y向的运动；其特征在于，所述基板（2）、移动板（4）上设有相配合的用于当所述载台（1）运动到检测区域发出检测信号的Y向位置传感器（34），或/和，所述移动板（4）、载台（1）上设有相配合的用于当所述载台（1）运动到检测区域发出检测信号的X向位置传感器。

2.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述Y向位置传感器（34）、X向位置传感器均为槽型光电传感器，包括槽型光电和感应片；所述Y向位置传感器（34）的槽型光电设于所述基板（2）上、感应片设于所述移动板（4）底部；所述X向位置传感器（34）的槽型光电设于所述移动板（4）上、感应片设于所述载台（1）底部。

3.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述基板（2）上设有用于发出Y向限位开关信号的Y向极限传感器（33）、Y向光栅尺（32）；所述Y向光栅尺（32）的感应长度大于所述Y向极限传感器（33）的感应长度范围。

4.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述移动板（4）设有用于发出X向限位开关信号的X向极限传感器（52）、X向光栅尺，所述X向光栅尺的感应长度大于所述X向极限传感器（52）的感应长度范围。

5.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述Y向运动机构（3）和X向运动机构（5）均为直线电机。

6.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述基板（2）上位于所述Y向运动机构（3）的两侧设有Y向导轨（31），所述Y向导轨（31）上的滑块连接所述移动板（4）。

7.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述移动板（4）上位于所述X向运动机构（5）两侧设有X向导轨（51），所述X向导轨（51）上的滑块连接所述载台（1）。

8.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述基板（2）上设有用于积分球穿过的第一通孔（21），所述移动板（4）上设有用于积分球穿过的第二通孔（41）。

9.根据权利要求1所述的晶圆点测用载台运动机构，其特征在于，所述载台（1）上设有防护罩（11），所述防护罩（11）上设有用于电路连接线、毛刷穿过的避让孔（110）。

10.一种点测机，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的晶圆点测用载台运动机构。