[实用新型]一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置有效
申请号: | 202220922152.7 | 申请日: | 2022-04-20 |
公开(公告)号: | CN217086552U | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 邱国诚;周峻民;李浩然;赖远军;林琪生 | 申请(专利权)人: | 东莞市德镌精密设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/66;H01L33/00 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 郑博文 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 miniled 针刺 转移 设备 基板取放 装置 | ||
本申请涉及半导体显示器件制造设备的领域,尤其是涉及一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置。其技术方案的要点是:包括具有至少两个第一基板抓取组件,第一基板抓取组件可分别抓取已转移以及未转移的基板工件,基板翻转机构驱动多个第一基板抓取组件转动,进而转动切换基板工件的取放位置;基板上料机构,用于吸附并抓取基板并将晶体膜移送至针刺转移装置处进行转移;以及基板摆动取料机构,位于基板上料机构以及基板翻转机构之间,用于将位于基板翻转机构处、未转移的基板移送至基板上料机构以供抓取,或用于将位于基板上料机构处、已转移的基板移送至基板翻转机构处以实现出料,本申请具有提升基板的转载效率的作用。
技术领域
本申请涉及半导体显示器件制造设备的领域,尤其是涉及一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置。
背景技术
miniLED显像技术是一种新颖的显像技术,采用更小的发光晶体颗粒,传统的显示屏幕相比,因晶体尺寸小,因此同样大的面板可容纳更多的miniLED晶体,可以划分更多精细的背光分区,通过对每个发光晶体进行独立控制,具有更精确的发光控制功能以及功耗控制功能,同时,MiniLED灯珠越多,背光源就越亮,意味着它能让显示器拥有更高的亮度、对比度和色域,拉高视觉上限,对于用户而言,使用体验极大地提升
目前,miniLED晶体通常需要经历扩晶、排晶以及焊接等工艺步骤,扩晶指的是将切割好的圆晶放置于一具有延展性的膜体上,通过拉扯膜体,以使晶体具有较大的间距,以便于晶体转移;随后将扩晶完毕的晶体膜放置于转移设备中,并转移至玻璃基板处,实现晶体的排序,随后将玻璃基板处的晶体再次转移至PCB基板上,通过焊接的形式完成晶体的安装,因晶体数量众多,晶体转移工艺又称为巨量转移工艺,对于转移效率以及转移良率都具有较高要求。
在晶体分选转移之前,通常需要将基板放置于转移设备的穿刺转移装置旁进行转移,但在相关技术中,基板转载时的效率仍不够理想,还具有较大的改进空间。
实用新型内容
为了提升基板的转载效率,本申请提供一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置。
本申请提供的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置采用如下的技术方案:
一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,包括具有至少两个第一基板抓取组件,所述第一基板抓取组件可分别抓取已转移以及未转移的基板工件,所述基板翻转机构驱动多个所述第一基板抓取组件转动,进而转动切换基板工件的取放位置;基板上料机构,用于吸附并抓取基板并将晶体膜移送至针刺转移装置处进行转移;以及基板摆动取料机构,位于所述基板上料机构以及所述基板翻转机构之间,用于将位于基板翻转机构处、未转移的基板移送至所述基板上料机构以供抓取,或用于将位于基板上料机构处、已转移的基板移送至所述基板翻转机构处以实现出料。
通过采用上述技术方案,在对基板转载的过程中,基板翻转机构可对未转移的基板抓取,在基板摆动取料机构的中转作用下,可稳定送入至上料机构中,并通过上料机构将基板移送至针刺转移装置处进行转移动作,随后上料机构转移完毕的基板再次移送至基板摆动取料机构上,基板翻转机构将转移完毕的基板取出的同时,通过对抓取组件进行切换,可同步将下一未加工的基板放置于基板摆动取料机构中,将基板放置于基板摆动取料机构后,基板翻转机构可将转移完毕的基板移动至设备外部,重复上述步骤,实现基板的持续取放料,基板的转载效率高效快捷。
优选的,所述基板翻转机构还包括翻转电机,多个所述第一基板抓取组件固定设置于所述翻转电机的输出轴上,并且多个所述翻转电机沿着所述翻转电机的输出轴呈周向排布。
通过采用上述技术方案,启动驱动电机,可使多个基板抓取组件的位置转移,基板翻转机构的吸取位置转动切换,动作快捷高效。
优选的,所述基板上料机构包括:
第一基板上料横移模组;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造