[实用新型]一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置有效

专利信息
申请号: 202220922152.7 申请日: 2022-04-20
公开(公告)号: CN217086552U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 邱国诚;周峻民;李浩然;赖远军;林琪生 申请(专利权)人: 东莞市德镌精密设备有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/683;H01L21/677;H01L21/66;H01L33/00
代理公司: 北京维正专利代理有限公司 11508 代理人: 郑博文
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 miniled 针刺 转移 设备 基板取放 装置
【权利要求书】:

1.一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于,包括:

基板翻转机构(4),具有至少两个第一基板抓取组件(41),所述第一基板抓取组件(41)可分别抓取已转移以及未转移的基板工件,所述基板翻转机构(4)驱动多个所述第一基板抓取组件(41)转动,进而转动切换基板工件的取放位置;

基板上料机构(6),用于吸附并抓取基板并将晶体膜移送至针刺转移装置(2)处进行转移;

以及基板摆动取料机构(5),位于所述基板上料机构(6)以及所述基板翻转机构(4)之间,用于将位于基板翻转机构(4)处、未转移的基板移送至所述基板上料机构(6)以供抓取,或用于将位于基板上料机构(6)处、已转移的基板移送至所述基板翻转机构(4)处以实现出料。

2.根据权利要求1所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于:所述基板翻转机构(4)还包括翻转电机(42),多个所述第一基板抓取组件(41)固定设置于所述翻转电机(42)的输出轴上,并且多个所述翻转电机(42)沿着所述翻转电机(42)的输出轴呈周向排布。

3.根据权利要求1所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于,所述基板上料机构(6)包括:

第一基板上料横移模组(61);

第二基板上料横移模组(62),设于所述第一基板上料横移模组(61)上,并与所述第一基板上料横移模组(61)的移动方向相垂直;

第三基板抓取组件(63),设于所述第二基板上料横移模组(62)处,用于吸附基板。

4.根据权利要求3所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于,所述第三基板抓取组件(63)包括升降气缸(631)、第三抓取臂(632)以及真空元件,所述升降气缸(631)固定设置于所述第二基板上料横移模组(62)上,所述第三基板抓取组件(63)设于所述升降气缸(631)上,所述第三抓取臂(632)上具有环状吸附槽(8),所述真空元件与所述环状吸附槽(8)连通,用于吸取环状吸附槽(8)内的空气,所述第三抓取臂(632)经由所述环状吸附槽(8)将基板吸取。

5.根据权利要求4所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于:所述第三抓取臂(632)上贯穿设置有观察窗口(7),所述观察窗口(7)与基板相对,用以观察晶体区域。

6.根据权利要求1所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于:所述基板摆动取料机构(5)包括第二基板抓取组件(51)以及取放料直线模组(52),所述第二基板抓取组件(51)设于所述取放料直线模组(52)上,所述取放料直线模组(52)驱动所述第二基板抓取组件(51)往复移动于所述基板翻转机构(4)以及所述基板上料机构(6)之间,所述第二基板抓取组件(51)用于将基板进行抓取。

7.根据权利要求6所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于:所述第二基板抓取组件(51)包括第二抓取臂(511)、升降元件(512)以及基板旋转电机(513),所述升降元件(512)设于所述取放料直线模组(52)上,所述基板旋转电机(513)设于所述升降元件(512)上,所述升降元件(512)用于驱动所述基板旋转电机(513)升降,所述第二抓取臂(511)设于所述基板旋转电机(513)上,所述基板旋转电机(513)用于驱动所述第二抓取臂(511)分别摆动至所述基板翻转机构(4)或所述基板上料机构(6)处。

8.根据权利要求7所述的一种miniLED针刺转移设备的基板取放装置,其特征在于:所述第二基板抓取组件(51)还包括定位块(514),所述定位块(514)固定连接于所述第二抓取臂(511)上,用于与基板的周缘相抵接定位。

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