[实用新型]一种晶圆盒综合控制机构

权利要求书

1.一种晶圆盒综合控制机构，其特征在于，包括压盒单元(1)和开盒单元(2)，所述压盒单元(1)的内侧开设有安装孔，所述安装孔的底部设置有开盒单元(2)；

所述压盒单元(1)包括机架(1-1)、第一压盒机构(1-3)和第二压盒机构(1-6)，所述机架(1-1)上沿着X轴负方向的一侧设置有第一压盒机构(1-3)，所述机架(1-1)上沿着X轴正方向的一侧设置有第二压盒机构(1-6)，所述第一压盒机构(1-3)包括压盒驱动电机(1-8)、第一压盒活动压块(1-9)和第一齿条(1-12)，所述压盒驱动电机(1-8)沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆螺母连接机构与第一齿条(1-12)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述第一齿条(1-12)与内侧的第一压盒活动压块(1-9)啮合设置，所述第二压盒机构(1-6)包括第二压盒活动压块(1-14)和第二齿条(1-16)，所述第二齿条(1-16)与内侧的第二压盒活动压块(1-14)啮合设置，所述第一压盒活动压块(1-9)沿着Y轴正方向的一侧通过拉绳(1-18)与第二压盒活动压块(1-14)沿着Y轴正方向的一侧相连接；

所述开盒单元(2)包括开盒底板(2-1)和动力元件，所述开盒底板(2-1)安装在压盒单元(1)内侧的安装孔底部，所述开盒底板(2-1)上的正面的中间位置开设有两个弧形的开盒滑槽(2-3)，所述开盒底板(2-1)上的背面的中间位置设置有动力元件槽体(2-7)，所述动力元件槽体(2-7)内设置有动力元件，所述动力元件包括开盖电机(2-8)和开合盘(2-23)，所述开盖电机(2-8)通过第二安装板(2-18)安装在第一安装板(2-15)上，所述第一安装板(2-15)盖合在开合盘(2-23)的底部且所述第一安装板(2-15)通过安装柱(2-22)与开盒底板(2-1)安装在一起，所述开合盘(2-23)位于两个弧形的开盒滑槽(2-3)正下方的动力元件槽体(2-7)内，所述开盖电机(2-8)第一侧的驱动端依次通过主动轮(2-9)、同步带(2-10)与从动轮(2-11)驱动连接设置，所述从动轮(2-11)与丝杆(2-13)的第一侧相连接，所述丝杆(2-13)通过丝杆安装座(2-12)安装在动力元件槽体(2-7)内，所述丝杆(2-13)上设置有丝杆螺母(2-14)，所述丝杆螺母(2-14)通过连杆(2-24)与开合盘(2-23)相连接，所述开合盘(2-23)的顶部设置有两个开盒圆柱(2-2)，所述开盒圆柱(2-2)向上凸出于开盒滑槽(2-3)内。

2.如权利要求1所述的一种晶圆盒综合控制机构，其特征在于，所述第一压盒活动压块(1-9)和第二压盒活动压块(1-14)外侧的机架(1-1)上均设置有挡壳(1-10)，第一压盒活动压块(1-9)和第二压盒活动压块(1-14)的顶部均设置有压舌，所述第一压盒活动压块(1-9)和第二压盒活动压块(1-14)的底部均设置有齿轮。

3.如权利要求1所述的一种晶圆盒综合控制机构，其特征在于，所述第一齿条(1-12)在机架(1-1)上的第一滑槽(1-11)内沿着Y轴方向移动，所述第二齿条(1-16)在机架(1-1)上的第二滑槽(1-15)内沿着Y轴方向移动，所述第一滑槽(1-11)沿着Y轴正方向一侧的机架(1-1)上设置有第一挡块(1-13)，所述第二滑槽(1-15)沿着Y轴正方向一侧的机架(1-1)上设置有第二挡块(1-17)。

4.如权利要求1所述的一种晶圆盒综合控制机构，其特征在于，所述第一压盒机构(1-3)的外侧设置有第一保护罩(1-2)，所述第二压盒机构(1-6)的外侧设置有第二保护罩(1-5)，所述第一保护罩(1-2)和第二保护罩(1-5)分别通过安装螺栓(1-7)安装在机架(1-1)上，所述第一保护罩(1-2)上沿着Y轴方向的中间位置还设置有提手(1-4)。

5.如权利要求1所述的一种晶圆盒综合控制机构，其特征在于，所述机架(1-1)上还设置有用于放置拉绳(1-18)的拉绳槽(1-20)，所述拉绳槽(1-20)外侧的机架(1-1)上还设置有压绳板(1-19)。