[实用新型]一种晶圆盒激光扫描定位装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆盒激光扫描定位装置，包括机架，机架上设置有推料限位机构和光路机构，推料限位机构设置在沿着X轴负方向一侧机架上靠近中间的位置上，光路机构安装在机架的背面上。本实用新型一种晶圆盒激光扫描定位装置，通过光路机构进行激光扫描定位，判断晶圆偏移后并通过推料限位机构进行推料处理，减少晶圆偏移造成的影响。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种晶圆盒激光扫描定位装置。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒中的晶圆在加工过程中可能会出现偏移的情况，偏移的晶圆会对后续的加工造成一定的不利影响。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种晶圆盒激光扫描定位装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆盒激光扫描定位装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种晶圆盒激光扫描定位装置，包括机架，机架上设置有推料限位机构和光路机构，推料限位机构设置在沿着X轴负方向一侧机架上靠近中间的位置上，光路机构安装在机架的背面上，光路机构包括激光器、第一半透镜、第二半透镜、第一反光镜、第二反光镜、第一接收器、第二接收器和第三接收器，激光器、第一半透镜、第二半透镜和第一反光镜依次沿着Y轴的正方向设置在机架沿着X轴负方向一侧的背面，第一接收器和第二接收器依次沿着Y轴的负方向设置在机架沿着X轴正方向一侧的背面，靠近第一反光镜且沿着沿着X轴正方向一侧机架的背面设置有第二反光镜，第三接收器位于第二反光镜沿着Y轴负方向一侧机架的背面，第二接收器位于第一半透镜沿着X轴正方向一侧机架的背面。

作为本实用新型的进一步改进，推料机构包括推料电机、转动块、转轴和限位推块，推料电机通过电机支架安装在机架上的正面，推料电机沿着Y轴正方向一侧的驱动端通过丝杆和丝杆螺母与转动块相连接，转动块与转轴相连接，转轴通过轴承安装在机架上，转轴的底部通过连接杆与限位推块相连接，限位推块位于机架的背面。

作为本实用新型的进一步改进，转动块上还设置有感应片，转动块沿着Y轴正方向一侧的机架上设置有与感应片相配合的传感器。

作为本实用新型的进一步改进，激光器、第一半透镜、第二半透镜和第一反光镜的底部外侧设置有遮光板。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

本实用新型一种晶圆盒激光扫描定位装置，通过光路机构进行激光扫描定位，判断晶圆偏移后并通过推料限位机构进行推料处理，减少晶圆偏移造成的影响。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型一种晶圆盒激光扫描定位装置正面的结构示意图；

图2是图1背面的结构示意图；

图3是图2除去遮光板后的结构示意图；

图4是图1中推料限位机构的结构示意图；

图5是本实用新型的光路示意图。

其中，图中各附图标记的含义如下。