[实用新型]一种适用于晶圆加工的夹取装置

权利要求书

1.一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，包括夹爪盒本体(1)，所述夹爪盒本体(1)的顶部和底部分别设置有上盖(3)和下盖(4)，所述夹爪盒本体(1)内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构(8)和夹爪驱动机构，夹爪连接块(2)通过夹爪连接轴(7)与所述下压机构(8)相连接；

所述夹爪驱动机构包括夹爪(5)、夹爪电机(12)、蜗杆座(15)、蜗杆(17)和蜗轮(18)，所述夹爪电机(12)通过电机座(14)安装在蜗杆座(15)上，所述夹爪电机(12)沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座(15)内沿着X轴方向的蜗杆(17)驱动连接设置，所述蜗杆(17)与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮(18)相连接，所述蜗轮(18)底部的两侧分别设置有夹爪固定轴(30)，所述夹爪盒本体(1)沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪(5)，所述夹爪(5)的内侧通过夹爪臂(9)安装在夹爪盒本体(1)内的夹爪臂安装块(10)上，所述夹爪臂(9)与夹爪臂安装块(10)铰接，所述夹爪固定轴(30)与连杆(28)的第一侧相连接，所述连杆(28)的第二侧通过连接棒(27)与夹爪连接臂(11)相连接，所述夹爪连接臂(11)与夹爪臂(9)的内侧底部相连接；

所述下压机构(8)包括沿着X轴方向并列设置的两组下压组件，所述下压组件包括下压立架(31)、下压摆臂(32)和下压连接块(33)，所述下压立架(31)上从上往下依次设置有两个下压摆臂(32)，且两个所述下压摆臂(32)分别位于夹爪连接轴(7)的上方和下方，所述下压摆臂(32)沿着Y轴负方向的一侧通过销轴与下压立架(31)相连接，所述下压摆臂(32)沿着Y轴正方向的一侧通过销轴与下压连接块(33)相连接，所述夹爪连接轴(7)沿着X轴方向依次穿过两个下压连接块(33)，且所述夹爪连接轴(7)通过防撞销钉(34)与下压连接块(33)连接在一起。

2.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述蜗杆座(15)的上方还设置有轴承安装板(16)，所述轴承安装板(16)通过立柱(20)安装在下盖(4)上，所述蜗轮(18)的顶部连接设置有蜗轮盘(23)，所述蜗轮盘(23)的顶部通过第一轴承(22)与轴承安装板(16)相连接，所述蜗轮盘(23)的底部通过第二轴承(29)与下盖(4)相连接。

3.如权利要求2所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述蜗轮盘(23)上设置有第一感应片(21)，所述轴承安装板(16)上设置有第一感应器安装板(19)，所述第一感应器安装板(19)上沿着X轴方向的两侧均设置有与第一感应片(21)相配合的第一感应器(24)。

4.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述夹爪臂(9)沿着Y轴方向的一侧还设置有第二感应片(26)，所述夹爪臂(9)一侧的下盖(4)上设置有与第二感应片(26)相配合的第二感应器(25)。

5.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述夹爪臂(9)的底部内侧还连接设置有拉簧(13)，所述拉簧(13)与轴承安装板(16)相连接。

6.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述夹爪连接轴(7)沿着Y轴负方向一侧的下盖(4)上设置有下压限位块(35)，所述下压限位块(35)位于两个下压连接块(33)之间，所述下压限位块(35)内沿着Y轴方向开设有下压限位槽(37)，所述夹爪连接轴(7)通过下压限位柱(36)与下压限位槽(37)相连接。

7.如权利要求6所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述下压连接块(33)的内侧设置有第三感应片(40)，两个所述第三感应片(40)之间的下盖(4)上设置有第二感应器安装板(38)，所述第二感应器安装板(38)上沿着X轴方向的两侧均设置有与第三感应片(40)相配合的第三感应器(39)。

8.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述下压连接块(33)的底部和下盖(4)之间还设置有弹簧(41)。

9.如权利要求1所述的一种适用于晶圆加工的夹取装置，其特征在于，所述夹爪(5)底部内侧的下盖(4)上设置有夹爪限位块(6)。