[实用新型]一种适用于晶圆加工的夹取装置

说明书

本实用新型涉及一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构和夹爪驱动机构，夹爪连接块通过夹爪连接轴与下压机构相连接。本实用新型一种适用于晶圆加工的夹取装置，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；通过下压机构可以对夹爪盒本体实现在一定程度上的下压处理，方便夹取操作。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种适用于晶圆加工的夹取装置。

背景技术

晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。晶圆盒的进出操作通常是人工拿取的方式，需要设计一种夹取装置可以实现对晶圆盒的进出料的夹取操作。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种适用于晶圆加工的夹取装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种适用于晶圆加工的夹取装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种适用于晶圆加工的夹取装置，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有下压机构和夹爪驱动机构，夹爪连接块通过夹爪连接轴与下压机构相连接；

夹爪驱动机构包括夹爪、夹爪电机、蜗杆座、蜗杆和蜗轮，夹爪电机通过电机座安装在蜗杆座上，夹爪电机沿着X轴正方向一侧的驱动端与蜗杆座内沿着X轴方向的蜗杆驱动连接设置，蜗杆与沿着Y轴负方向一侧的蜗轮相连接，蜗轮底部的两侧分别设置有夹爪固定轴，夹爪盒本体沿着X轴方向两侧的中间位置均设置有夹爪，夹爪的内侧通过夹爪臂安装在夹爪盒本体内的夹爪臂安装块上，夹爪臂与夹爪臂安装块铰接，夹爪固定轴与连杆的第一侧相连接，连杆的第二侧通过连接棒与夹爪连接臂相连接，夹爪连接臂与夹爪臂的内侧底部相连接；

下压机构包括沿着X轴方向并列设置的两组下压组件，下压组件包括下压立架、下压摆臂和下压连接块，下压立架上从上往下依次设置有两个下压摆臂，且两个下压摆臂分别位于夹爪连接轴的上方和下方，下压摆臂沿着Y轴负方向的一侧通过销轴与下压立架相连接，下压摆臂沿着Y轴正方向的一侧通过销轴与下压连接块相连接，夹爪连接轴沿着X轴方向依次穿过两个下压连接块，且夹爪连接轴通过防撞销钉与下压连接块连接在一起。

作为本实用新型的进一步改进，蜗杆座的上方还设置有轴承安装板，轴承安装板通过立柱安装在下盖上，蜗轮的顶部连接设置有蜗轮盘，蜗轮盘的顶部通过第一轴承与轴承安装板相连接，蜗轮盘的底部通过第二轴承与下盖相连接。

作为本实用新型的进一步改进，蜗轮盘上设置有第一感应片，轴承安装板上设置有第一感应器安装板，第一感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第一感应片相配合的第一感应器。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪臂沿着Y轴方向的一侧还设置有第二感应片，夹爪臂一侧的下盖上设置有与第二感应片相配合的第二感应器。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪臂的底部内侧还连接设置有拉簧，拉簧与轴承安装板相连接。

作为本实用新型的进一步改进，夹爪连接轴沿着Y轴负方向一侧的下盖上设置有下压限位块，下压限位块位于两个下压连接块之间，下压限位块内沿着Y轴方向开设有下压限位槽，夹爪连接轴通过下压限位柱与下压限位槽相连接。

作为本实用新型的进一步改进，下压连接块的内侧设置有第三感应片，两个第三感应片之间的下盖上设置有第二感应器安装板，第二感应器安装板上沿着X轴方向的两侧均设置有与第三感应片相配合的第三感应器。

作为本实用新型的进一步改进，下压连接块的底部和下盖之间还设置有弹簧。