[实用新型]一种立式镀膜装置

权利要求书

1.一种立式镀膜装置，其特征在于，包括基座、镀膜机构以及转动设置于所述基座上的公转机构，在所述公转机构的周壁设置有载板，在所述载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，所述公转机构的转动平面与所述自转机构的转动平面垂直，所述镀膜机构设置于所述基座且与所述平面基板对应。

2.如权利要求1所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述自转机构包括设置于所述载板上的第一驱动件、转动件和用于装夹所述平面基板的夹具，所述夹具通过所述转动件转动设置于所述载板，所述第一驱动件经所述转动件与所述夹具驱动连接，用于驱动所述夹具转动以带动所述平面基板自转。

3.如权利要求2所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述转动件为轴承，所述轴承的外圈与所述载板固定连接，所述轴承的内圈与所述夹具固定连接，所述第一驱动件与所述轴承的内圈通过齿轮传动。

4.如权利要求3所述的立式镀膜装置，其特征在于，在所述载板上开设有容置孔，所述轴承嵌设于所述容置孔内，所述轴承的外圈与所述容置孔内壁固定连接，所述轴承的内圈突出于所述容置孔，在所述轴承内圈突出于所述容置孔的外周壁设置有与所述第一驱动件配合的齿轮部。

5.如权利要求1所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述公转机构包括设置于所述基座上的第二驱动件和筒体，所述筒体绕自身中轴线转动设置于所述基座，所述载板设置于所述筒体的周壁，所述第二驱动件与所述筒体驱动连接，用于驱动所述筒体以带动所述平面基板公转。

6.如权利要求5所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述筒体为棱柱筒体，所述载板为多个，多个所述载板一一对应分布于所述棱柱筒体的侧壁。

7.如权利要求1所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述镀膜机构为磁控溅射机构。

8.如权利要求1至7任一项所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述立式镀膜装置还包括设置于所述基座的修正叶组件，所述修正叶组件位于所述镀膜机构和所述平面基板之间且部分遮盖所述镀膜机构的镀膜区域，用于修正所述平面基板板面的膜层厚度的均匀性。

9.如权利要求8所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述立式镀膜装置包括一组所述修正叶组件，一组所述修正叶组件分布于所述镀膜区域的一侧；或，所述立式镀膜装置包括两组修正叶组件，两组所述修正叶组件分布于所述镀膜区域的相对两侧。

10.如权利要求8所述的立式镀膜装置，其特征在于，所述修正叶组件包括多个排列于同一平面的指条，多个所述指条排列的平面与所述公转机构的转动平面垂直，每个所述指条的长度沿所述自转机构的转动中心向外依次递增。