[实用新型]一种芯片侧面缺陷检测装置

说明书

本实用新型提供一种芯片侧面缺陷检测装置，包括支撑柱、棱镜组、光源、底座、转角镜和视觉模块。所述芯片侧面缺陷检测装置利用反射棱镜进行芯片侧面图像的传递，节约了空间并节省相机调试的时间，所述光源设置于所述棱镜组与所述底座之间，并设置所述转角镜以对图像方向进行转换，所述视觉模块可与所述棱镜组相互垂直设置，并设置所述转角镜进行图像方向的转换，所需安装空间小。

技术领域

本实用新型属芯片测试装置技术领域，具体涉及一种芯片侧面缺陷检测装置。

背景技术

芯片在生产完成后续进行外观测试，对产品表面进行检测。现有技术中，通常使用吸取装置吸取芯片，并置于相机的摄像范围内，由相机对芯片拍照以进行检测。由于芯片需检测侧面，因此通常在芯片的侧面位置放置2个或4个相机，以保证检测到4个侧面。但相机数量的增多会增大成本，对相机的调试也增加了工作量，且占用空间大。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点与不足，提供一种芯片侧面缺陷检测装置，利用反射棱镜进行芯片侧面图像的传递，节约了空间并节省相机调试的时间，所述光源设置于所述棱镜组与所述底座之间，并设置所述转角镜以对图像方向进行转换，所述视觉模块可与所述棱镜组相互垂直设置，所需安装空间小。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种芯片侧面缺陷检测装置，包括底座、支撑柱、光源、视觉模块、棱镜组和转角镜；

所述支撑柱包括柱体和固定框，所述柱体竖直固定于所述底座；所述固定框垂直固定于所述柱体的端部；所述固定框开设有第一透光孔；

所述光源与所述支撑柱固定连接，所述光源的照射方向朝向所述第一透光孔设置；

所述视觉模块固定于所述底座；

所述棱镜组包括四个反射棱镜；所述棱镜组设置于所述固定框，且四个所述反射棱镜围合形成与所述第一透光孔位置相对应的放置位；所述反射棱镜具有反射面，四个所述反射棱镜的反射面均与水平面呈一定角度，且均朝向所述放置位设置；

所述转角镜固定于所述支撑柱，且位于所述底座与所述反射棱镜之间；所述转角镜具有传递面；

所述光源发出的第一光束经所述反射棱镜的反射面反射形成第二光束，所述第二光束经所述转角镜的传递面反射形成第三光束，所述视觉模块的识别范围覆盖所述第三光束的光路上。

本实用新型提供一种芯片侧面缺陷检测装置，通过外设吸取装置等吸取固定芯片，并将芯片保持于放置位，所述光源为所述芯片打光，所述反射棱镜用于反射芯片侧面的图像，且所述反射棱镜可反射光源的光线以增强图像亮度，所述反射棱镜将图像传递至所述转角镜，进一步由所述转角镜将图像传递至所述视觉模块，由所述视觉模块完成对所述图像的获取。本实用新型利用反射棱镜配合转角镜进行芯片侧面图像的传递，使得可通过设置一个视觉模块即可获得芯片四个侧面的图像，与现有技术中设置两个至四个相机以获取芯片侧面图像相比，节约了空间并节省相机调试的时间，且为节省空间，所述光源设置于所述棱镜组与所述底座之间，并设置所述转角镜进行图像方向的转换，通过转角镜的方向设置，使得所述视觉模块的安装位置不受光线光路的限制，所需安装空间小。

进一步，所述芯片侧面缺陷检测装置还包括调节机构，所述调节机构沿所述底座的长度方向、高度方向和/或宽度方向活动设置于所述底座，所述视觉模块固定设置于所述调节机构。所述调节机构用于使所述视觉模块与所述底座活动连接，并调节所述视觉模块的位置，以调节所述视觉模块的焦距。