[实用新型]一种芯片侧面缺陷检测装置

权利要求书

1.一种芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

包括底座、支撑柱、光源、视觉模块、棱镜组和转角镜；

所述支撑柱包括柱体和固定框，所述柱体竖直固定于所述底座；所述固定框固定于所述柱体的端部；所述固定框开设有第一透光孔；

所述光源与所述支撑柱固定连接，所述光源的照射方向朝向所述第一透光孔设置；

所述视觉模块固定于所述底座；

所述棱镜组包括四个反射棱镜；所述棱镜组设置于所述固定框，且四个所述反射棱镜围合形成与所述第一透光孔位置相对应的放置位；所述反射棱镜具有反射面，四个所述反射棱镜的反射面均与水平面呈一定角度，且均朝向所述放置位设置；

所述转角镜固定于所述支撑柱，且位于所述底座与所述反射棱镜之间；所述转角镜具有传递面；

所述光源发出的第一光束经所述反射棱镜的反射面反射形成第二光束，所述第二光束经所述转角镜的传递面反射形成第三光束，所述视觉模块的识别范围覆盖所述第三光束的光路。

2.根据权利要求1所述的芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

还包括调节机构，所述调节机构沿所述底座的长度方向、高度方向和/或宽度方向活动设置于所述底座，所述视觉模块固定设置于所述调节机构。

3.根据权利要求2所述的芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

所述调节机构包括Z轴调节部和Y轴调节部；

所述Z轴调节部包括第一固定块和第一活动块；所述第一活动块活动安装于所述第一固定块，并可沿Z轴方向运动；所述视觉模块固定设置于所述第一活动块；

所述Y轴调节部包括第二固定块和第二活动块；所述第二固定块与所述底座活动连接；所述第二活动块活动安装于所述第二固定块，并可沿Y轴方向运动；所述第二活动块与所述第一固定块固定连接。

4.根据权利要求3所述的芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

所述第一固定块的一侧外表面凸起设置若干第一卡合件；所述第一活动块设有沿Z轴方向延伸的第一凹槽，所述第一卡合件沿所述第一凹槽的长度延伸方向活动卡合于所述第一凹槽；

所述第二固定块远离所述底座的一侧外表面凸起设置若干第二卡合件；所述第二活动块设有沿Y轴方向延伸的第二凹槽，所述第二卡合件沿所述第二凹槽的长度延伸方向活动卡合于所述第二凹槽。

5.根据权利要求4所述的芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

所述Z轴调节部还包括第一螺杆、第一连接块和第一转动块；

所述第一固定块开设有容置腔，其开口朝向竖直向上的方向设置；所述第一固定块的侧面开设有与所述容置腔相连通的第一螺纹孔，所述第一螺杆与所述第一螺纹孔螺纹连接，并穿设于所述第一固定块内；所述第一活动块设置于所述容置腔上方；

所述第一连接块固定设置于所述第一活动块朝向所述容置腔的一面，并沿Z轴方向活动穿设于所述容置腔内；

所述第一转动块可转动地设置于所述容置腔内；所述第一转动块包括受力端以及作用端；

所述第一螺杆沿所述第一螺纹孔的延伸方向运动，所述第一螺杆的端部与所述受力端活动抵接，并可驱动所述第一转动块绕其转动轴转动，所述作用端与所述第一连接块活动抵接，并可驱动所述第一活动块沿Z轴方向运动。

6.根据权利要求4所述的芯片侧面缺陷检测装置，其特征在于：

所述Y轴调节部还包括第二螺纹座和第二螺杆；

所述第二螺纹座固定于所述第二固定块的侧面；所述第二螺纹座贯穿开设有第二螺纹孔，所述第二螺杆与所述第二螺纹孔螺纹连接，且所述第二螺杆的端部与所述第二活动块活动抵接。