[实用新型]器件腐蚀用的装置有效
| 申请号： | 202220855468.9 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN217405393U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡齐航;杨鑫;余维松;刘涛;张晓威 | 申请（专利权）人： | 苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 宋小光 |
| 地址： | 201103 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 器件 腐蚀 装置 | ||
1.一种器件腐蚀用的装置，其特征在于，包括：
内部中空且供盛装腐蚀溶液的容器，所述容器的顶面为敞口；
固设于所述容器底面且呈竖向设置的支撑组件，高度可调；以及
可拆卸地安装于所述支撑组件顶部的承载台，所述承载台的底面形成有呈水平状的粘贴面以供粘贴所述器件。
2.如权利要求1所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，所述支撑组件包括相互套合连接的至少两个连接杆。
3.如权利要求2所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，相邻两个所述连接杆螺纹连接。
4.如权利要求1所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，还包括可拆卸地安装于所述支撑组件顶部的安装件，所述安装件部分伸出所述支撑组件外形成吊设部；
所述承载台吊设于所述吊设部上。
5.如权利要求4所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，所述支撑组件的顶部形成有插接部；
所述安装件的底面设有与所述插接部相适配的插槽，所述插接部插置于所述插槽中。
6.如权利要求5所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，所述插接部为呈横向设置的插板。
7.如权利要求4所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，还包括安装连接于所述安装件和所述承载台之间的吊杆，呈竖向设置。
8.如权利要求4所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，所述安装件为内部中空的杯体，所述杯体的底面为敞口，所述杯体的顶壁可拆卸地安装于所述支撑组件的顶部。
9.如权利要求1所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，还包括底座；
所述支撑组件的底部伸出所述容器底部外形成有连接端，所述连接端固设于所述底座之上。
10.如权利要求1所述的器件腐蚀用的装置，其特征在于，所述容器上设有刻度线。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司，未经苏试宜特（上海）检测技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202220855468.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：旋转进气机构及燃气取暖器
- 下一篇：一种动力电池
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
