[实用新型]硅片切割清洗液自动混液供液装置

权利要求书

1.一种硅片切割清洗液自动混液供液装置，其特征在于，设有混液箱和供液箱，所述混液箱经管路向供液箱补液，所述混液箱的顶部设有添加剂加入口，混液箱的侧面设有进纯水口和进液口，混液箱的下部开设出液口，与进纯水口相连的管路上设有进纯水电磁阀，进液口与出液口经循环管路相连，循环管路上设有搅拌电磁阀，循环管路靠近出液口一端设有循环泵，循环管路上还设有三通，与供液箱相连的供液管路与三通相连，供液管路上设有补液电磁阀；所述供液箱内设有液位传感器，供液箱的出液口向多路供液管路输送清洗液。

2.根据权利要求1所述的一种硅片切割清洗液自动混液供液装置，其特征在于，所述混液箱和供液箱内分别设有液位传感器，用于监测箱体内液位。

3.根据权利要求1所述的一种硅片切割清洗液自动混液供液装置，其特征在于，所述循环管路采用弯头结构，且循环管路的出口靠近箱的底部，以有效的形成水涌，起到良好搅拌效果，保证混液箱内添加剂与纯水充分混合。

4.根据权利要求1所述的一种硅片切割清洗液自动混液供液装置，其特征在于，设有分别与液位传感器、电磁阀、循环泵相连的PLC控制器，PLC控制器接收液位传感器采集信号以及电磁阀的开关信息，并完成对循环泵以及各电磁阀的开关控制，还设置状态指示灯，状态指示灯与PLC控制器相连，用于显示当前电磁阀开关信息或液位信息。

5.根据权利要求1所述的一种硅片切割清洗液自动混液供液装置，其特征在于，混液箱与供液箱设置在同一机架上，混液箱设置在供液箱上侧，混液箱与供液箱上分别设有透明窗口，用于观察箱内液位情况。