[实用新型]一种晶圆用定位装置

权利要求书

1.一种晶圆用定位装置，包括承载单元（1）、负压单元和旋转单元（2），所述负压单元与外部真空设备相连；所述承载单元（1）包括基座（10）和安装在所述基座（10）上的带真空吸盘（12）的载台，所述真空吸盘（12）与所述负压单元相连用于吸附晶圆；所述载台与所述基座（10）内部的转盘轴承（13）相连，所述旋转单元（2）驱动所述载台旋转，其特征在于：所述承载单元（1）还包括安装在所述载台下方、所述转盘轴承（13）中部的顶升机构（14），所述载台上形成有顶升通道（110），所述顶升通道（110）供所述顶升机构（14）升降通过。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述顶升机构（14）包括第一驱动机构（141）、固定板（142）和若干吸附导杆（143）；所述第一驱动机构（141）安装在所述载台上，所述固定板（142）套设在所述第一驱动机构（141）上，所述吸附导杆（143）安装在所述固定板（142）上；所述吸附导杆（143）包括依次相连的吸嘴（143a）、中空杆体（143b）和导杆接头（143c），所述导杆接头（143c）与所述负压单元相连；所述第一驱动机构（141）驱动所述吸附导杆（143）在所述顶升通道（110）内升降通过。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述吸附导杆（143）共有三根，三根所述吸附导杆（143）的中心与所述载台的中心重合；所述顶升通道（110）共有三条，与所述吸附导杆（143）对应设置。

4.根据权利要求2或3所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述顶升通道（110）的中间段形成有向外凸出的限位空间（1100），所述吸附导杆（143）的中间段形成有向外凸出的限位件（1430），所述顶升机构（14）升降时所述限位件（1430）在所述限位空间（1100）内上下移动。

5.根据权利要求2或3所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述转盘轴承（13）的内侧设有若干导向槽（131），所述吸附导杆（143）的底部位于所述导向槽（131）内，沿所述导向槽（131）进行升降。

6.根据权利要求2或3所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述负压单元包括第一负压组件和第二负压组件；所述第一负压组件与所述真空吸盘（12）上的真空腔体连通以提供负压，所述第二负压组件与所述导杆接头（143c）连通以提供负压。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述真空吸盘（12）为多孔陶瓷吸盘，所述多孔陶瓷吸盘上形成通孔（1101），所述通孔（1101）作为所述顶升通道（110）的上段。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述旋转单元（2）包括闭环步进电机（21）、滚珠丝杆副和传动连接件（23），所述滚珠丝杆副的丝杆（221）与所述闭环步进电机（21）相连；所述传动连接件（23）的第一端与所述滚珠丝杆副的螺母活动连接，第二端与所述载台锁固连接。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述载台包括固定相连的圆形旋转平台（111）和安装平台（112），所述旋转平台（111）与所述基座（10）相连，所述安装平台（112）用于安装所述真空吸盘（12）；所述传动连接件（23）的第二端固定在所述旋转平台（111）上。

10.根据权利要求8或9所述的一种晶圆用定位装置，其特征在于：所述滚珠丝杆副的螺母上安装有传动轴承（223），所述传动连接件（23）的第一端与所述传动轴承（223）相连。