[实用新型]等离子处理设备有效
| 申请号： | 202220753983.6 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN218414478U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 吴楚辉;王仲培 | 申请（专利权）人： | 富联裕展科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 袁建设 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 设备 | ||
1.一种等离子处理设备，其特征在于，包括：
机架；
真空腔体，设置于所述机架上，所述真空腔体内设置有多个承载件，所述承载件为金属网格结构，所述承载件用于承载待处理产品；
射频电源，设置于所述机架上，用于激发所述真空腔内产生等离子体以除去所述待处理产品表面的膜层。
2.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述产品与所述承载件电接触。
3.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述射频电源采用双频电源。
4.如权利要求3所述的等离子处理设备，其特征在于，所述双频电源的频率分别为13.56MHz和4.52MHz。
5.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述等离子处理设备还包括偏压电源，所述偏压电源用于为所述真空腔体提供偏压。
6.如权利要求5所述的等离子处理设备，其特征在于，所述偏压电源包括线圈，所述线圈套设于所述真空腔体的外壁上，所述线圈有多个，多个所述线圈与多个所述承载件对应。
7.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述真空腔体的内侧壁设置有多个间隔设置的承载部，所述承载部与所述承载件对应，每个所述承载部用于承载对应的承载件。
8.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述等离子处理设备还包括气泵，所述气泵与所述真空腔体连接，用于向所述真空腔体内输送气体。
9.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述等离子处理设备还包括真空泵和真空检测器，所述真空泵用于抽取所述真空腔体内的气体以使所述真空腔呈现负压状态，所述真空检测器与所述真空腔体连通以测试所述真空腔体的气压。
10.如权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于，所述等离子处理设备还包括天线，所述天线设于所述机架上且与所述真空腔体电连接。
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