[实用新型]一种碳化硅加热炉降温装置

说明书

本实用新型公开了一种碳化硅加热炉降温装置，包括气管（1），气管（1）的内部设置有U型冷却管（3），气管（1）的表面均匀布置有排气孔（7），气管（1）的底端设置有气源连接阀（2）；本实用新型通过设计表面均匀排布气孔的排气管，增大了加热炉内气体扩散面积，同时在气管内加装可循环冷却水的冷却管，使气体能够进一步冷却，能够有效的降低碳化硅炉体中心位置的温度，增大了加热炉内的降温速率。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅加热炉辅助设备领域，特别涉及一种碳化硅加热炉降温装置。

背景技术

目前碳化硅的生产都会采用加热炉结晶的方法来进行，电热炉通过炉芯表面传给炉料，使之逐渐加热，达到反应温度进行反应。

由于碳化硅的反应温度非常高，所以需要考虑反应完成后的降温问题，自然降温过于漫长，而现有的碳化硅加热炉降温是通过在碳化硅炉外表面布置冷却水循环来实现，但是由于炉体过大，会导致内部降温不均匀，炉体中心位置降温会比较慢，从而导致降温速率的降低。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供一种能够均匀排气实现降温的碳化硅加热炉降温装置。

为解决上述问题，本实用新型通过以下方案实现：

一种碳化硅加热炉降温装置，包括气管，气管的内部设置有U型冷却管，气管的表面均匀布置有排气孔，气管的底端设置有气源连接阀。

进一步地，所述冷却管与气管之间设置有用于固定冷却管的固定件。

进一步地，所述气管的外表面上端设置支腿。

进一步地，所述支腿与气管之间通过轴承连接，支腿可收缩于气管的两侧，也可打开与气管呈90°起支撑作用。

进一步地，所述冷却管的端部位于气管的外侧，端部连接有冷却水循环机。

本实用新型通过设计表面均匀排布气孔的排气管，增大了加热炉内气体扩散面积，同时在气管内加装可循环冷却水的冷却管，使气体能够进一步冷却，能够有效的降低碳化硅炉体中心位置的温度，增大了加热炉内的降温速率。

附图说明

下面通过附图和具体实施案例对本实用新型进一步说明。

图1为本实用新型使用示意图

图2为本实用新型结构示意图

图3为气管局部示意图

图中：1-气管、2-气源连接阀、3-冷却管、4-固定件、5-支腿、6-冷却水循环机、7-排气孔。

具体实施方式

如图1、图2、图3所示的一种碳化硅加热炉降温装置，包括气管1，气管1的表面上均匀的设置若干用来通气的排气孔7，在气管的内部设置有U型冷却管3，冷却管3的端部穿出气管1，端部位于气管1的外侧，端部连接有冷却水循环机6，冷却水循环机6为冷却管3提供冷却循环水，冷却管3为气管内提供充足的冷空气，在气管1内部的冷却管3的中部位置设有固定件4，固定件4将冷却管3固定在气管1的管壁上，防止冷却管3因为气体造成大幅的晃动。

所述气管1外表面的上端中心对称的设有若干支腿5，支腿5可以在气管1伸入加热炉内时起支撑作用，防止气管与炉内的物料接触。

所述支腿5与气管之间通过轴承连接，支腿5可收缩于气管1的两侧，也可打开与气管呈90°起支撑作用。

所述气管1外表面的下端对称设置有气源连接阀2，气源连接阀2外接压缩空气机为管内提供充足的气体，使气管能够对加热炉内进行吹扫降温。