[实用新型]一种碳化硅加热炉降温装置有效
| 申请号： | 202220733890.7 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN217032053U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈智 | 申请（专利权）人： | 新疆鑫能天源碳化硅有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00;C01B32/956 |
| 代理公司： | 北京众允专利代理有限公司 11803 | 代理人： | 张争艳 |
| 地址： | 832000 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 加热炉 降温 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种碳化硅加热炉降温装置，包括气管（1），其特征在于，气管（1）的内部设置有U型冷却管（3），气管（1）的表面均匀布置有排气孔（7），气管（1）的底端设置有气源连接阀（2）。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅加热炉降温装置，其特征在于，所述冷却管（3）与气管（1）之间设置有用于固定冷却管（3）的固定件（4）。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅加热炉降温装置，其特征在于，所述气管（1）的外表面上端设置支腿（5）。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅加热炉降温装置，其特征在于，所述支腿（5）与气管（1）之间通过轴承连接，支腿（5）可收缩于气管（1）的两侧，也可打开与气管呈90°起支撑作用。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅加热炉降温装置，其特征在于，所述冷却管（3）的端部位于气管（1）的外侧，端部连接有冷却水循环机（6）。
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