[实用新型]激光剥离装置有效

专利信息
申请号: 202220656785.8 申请日: 2022-03-24
公开(公告)号: CN217062027U 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 李强;萧俊龙;林浩翔 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 刘娜
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要:
搜索关键词: 激光 剥离 装置
【权利要求书】:

1.一种激光剥离装置,其特征在于,包括:

第一承载板(10),所述第一承载板(10)开设有容置槽(11),待剥离件(60)容置在所述容置槽(11)内;

第二承载板(20),所述第二承载板(20)设置在所述第一承载板(10)上以挤压所述待剥离件(60),所述第二承载板(20)开设有供激光穿过的通孔(21),所述通孔(21)与所述容置槽(11)对应设置。

2.如权利要求1所述的激光剥离装置,其特征在于,所述激光剥离装置还包括加热组件(30),所述加热组件(30)设置在所述容置槽(11)内,用于对所述待剥离件(60)进行预加热。

3.如权利要求1所述的激光剥离装置,其特征在于,所述激光剥离装置还包括磁吸件(40),所述第一承载板(10)或所述第二承载板(20)由铁磁性材料制成,所述磁吸件(40)设置在所述第二承载板(20)或所述第一承载板(10)上,用于吸附所述第一承载板(10)或所述第二承载板(20)。

4.如权利要求3所述的激光剥离装置,其特征在于,所述磁吸件(40)为多个,多个所述磁吸件(40)沿所述第一承载板(10)或所述第二承载板(20)的周向间隔设置。

5.如权利要求3所述的激光剥离装置,其特征在于,所述第一承载板(10)或所述第二承载板(20)开设有固定槽(12),所述磁吸件(40)容置在所述固定槽(12)内。

6.如权利要求3所述的激光剥离装置,其特征在于,所述磁吸件(40)为电磁体。

7.如权利要求1至6中任一项所述的激光剥离装置,其特征在于,所述激光剥离装置还包括压力检测模块(50),所述压力检测模块(50)的顶部与所述第二承载板(20)抵接,所述压力检测模块(50)的底部伸入所述容置槽(11)内并与所述待剥离件(60)抵接,用于挤压所述待剥离件(60)并检测所述待剥离件(60)受到的挤压力。

8.如权利要求7所述的激光剥离装置,其特征在于,所述第二承载板(20)朝向所述第一承载板(10)的一侧开设有与所述通孔(21)同轴设置的限位槽(22),所述限位槽(22)的内径大于所述通孔(21)的内径,以形成限位台阶,所述压力检测模块(50)的顶部伸入所述限位槽(22)并与所述限位台阶抵接。

9.如权利要求8所述的激光剥离装置,其特征在于,所述压力检测模块(50)为环形,所述压力检测模块(50)的外径与所述限位槽(22)和/或所述容置槽(11)的内径相适配。

10.如权利要求7所述的激光剥离装置,其特征在于,所述激光剥离装置还包括控制器,所述压力检测模块(50)与所述控制器电连接。

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