[实用新型]一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置

说明书

本实用新型涉及磷化铟晶片技术领域，尤其涉及一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置。其技术方案包括：安装板、安装箱与支撑架，安装板的顶部活动安装有加热箱，安装板的底部滑动安装有与加热箱对应的安装箱，安装箱的内部通过夹持板限位固定有与加热箱对应的加热器，夹持板的外侧通过连接杆固定安装有握把，安装箱的外侧固定安装有与连接杆配合的固定块，连接杆的外侧套有弹簧。本实用新型通过设置有夹持板、固定块与连接杆之间的相互配合，利用连接杆的将夹持板之间相互靠近，可以较为方便的通过防护垫将加热器限位固定在安装箱的内部，能够有效的将加热器进行安装和更换，增加实用性，降低了工作人员的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及磷化铟晶片技术领域，具体为一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置。

背景技术

磷化铟是一种重要的半导体材料，在5G通信时代，磷化铟材料的性能相较于其它的半导体材料更好，拥有广阔的发展前景。磷化铟晶片由晶棒加工而成，在切割晶棒的过程中，线锯对于晶圆表面具有损害性，晶片切割之后，晶片的厚度需要进行研磨工艺处理，将晶片的厚度研磨至所需要的晶片厚度，晶片进行研磨后需要对表面进行腐蚀处理，保持增加晶片表面的光洁度与平整度，因此需要使用到用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置。

经检索，专利公告号为CN212648204U公开一种磷化铟晶片退火装置，该实用新型公开了一种磷化铟晶片退火装置，包括柱状罐体、密封盖和晶片台；柱状罐体、密封盖和晶片台所用材质均为石英；柱状罐体的顶部由密封盖密封；柱状罐体内侧壁上设有沿周边设置的支撑凸块，晶片台周边设有支撑耳，晶片台通过支撑耳水平放置在柱状罐体内的支撑凸块上；晶片台上表面设有一个以上的弧形凹坑，每个弧形凹坑均沿周边设有环形支撑台阶，环形支撑台阶上设有沿宽度方向设置的通槽。

现有的用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置存在的缺陷是：

1、现有的用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置在使用的过程中，由于在对磷化铟晶片进行加热的过程中加热器不能够稳定的放置在内部，使在进行使用的过程中不方便进行固定，降低了便捷性，大大影响工作人员的工作效率；

2、一般的用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置缺少取出结构，在进行使用的过程中，加热装置内部的加热器长时间的加热需要更换燃料，在取出时不方便降低了实用性，为此我们提出一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置来解决现有的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置，包括安装板、安装箱与支撑架，所述安装板的顶部活动安装有加热箱，所述安装板的底部滑动安装有与加热箱对应的安装箱，所述安装箱的内部通过夹持板限位固定有与加热箱对应的加热器，所述夹持板的外侧通过连接杆固定安装有握把，所述安装箱的外侧固定安装有与连接杆配合的固定块，所述连接杆的外侧套有弹簧，所述安装箱的底部固定安装有支撑架，所述支撑架的顶部固定安装有安装块，所述安装块的内部活动安装有下压块，所述安装箱内部滑动安装有与加热器配合的挤出板，所述挤出板的底部固定安装有挤出杆。

利用连接杆的将夹持板之间相互靠近，可以较为方便的通过防护垫将加热器限位固定在安装箱的内部，能够有效的将加热器进行安装和更换，增加实用性，降低了工作人员的工作效率。

优选的，所述安装板与加热箱之间通过安装台活动安装，且安装板的底部固定安装有支撑柱。使本装置在进行使用的过程中更加稳定，防止在进行使用时产生偏移。

优选的，所述安装箱与安装板之间通过滑槽滑动安装，且安装箱的两侧固定安装有与滑槽配合的滑块。通过滑块与滑槽之间进行滑动，使安装箱的顶部能够与加热箱的底部进行对接。