[实用新型]一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置有效

专利信息
申请号: 202220553810.X 申请日: 2022-03-15
公开(公告)号: CN217084612U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 黄燕;徐荣荣;战泽瑞;蒙奎芝;战泽兴 申请(专利权)人: 山东欧思特新材料科技有限公司
主分类号: G01N17/00 分类号: G01N17/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 253000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 高温 条件下 腐蚀 测试 磷化 晶片 装置
【权利要求书】:

1.一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,包括安装板(1)、安装箱(2)与支撑架(3),其特征在于:所述安装板(1)的顶部活动安装有加热箱(103),所述安装板(1)的底部滑动安装有与加热箱(103)对应的安装箱(2),所述安装箱(2)的内部通过夹持板(204)限位固定有与加热箱(103)对应的加热器(203),所述夹持板(204)的外侧通过连接杆(206)固定安装有握把(207),所述安装箱(2)的外侧固定安装有与连接杆(206)配合的固定块(208),所述连接杆(206)的外侧套有弹簧(209),所述安装箱(2)的底部固定安装有支撑架(3),所述支撑架(3)的顶部固定安装有安装块(304),所述安装块(304)的内部活动安装有下压块(305),所述安装箱(2)的内部滑动安装有与加热器(203)配合的挤出板(301),所述挤出板(301)的底部固定安装有挤出杆(302)。

2.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,其特征在于:所述安装板(1)与加热箱(103)之间通过安装台(102)活动安装,且安装板(1)的底部固定安装有支撑柱(101)。

3.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,其特征在于:所述安装箱(2)与安装板(1)之间通过滑槽(104)滑动安装,且安装箱(2)的两侧固定安装有与滑槽(104)配合的滑块(201)。

4.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,其特征在于:所述夹持板(204)的内侧固定安装有防护垫(205),滑块(201)与滑槽(104)之间通过固定旋钮(105)固定,且滑块(201)的一侧设置有与固定旋钮(105)配合的固定孔(202)。

5.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,其特征在于:所述安装块(304)与下压块(305)之间通过转动轴(307)活动安装,且下压块(305)上设置有与转动轴(307)配合的活动孔(308)。

6.根据权利要求1所述的一种用于高温条件下腐蚀测试磷化铟晶片的装置,其特征在于:所述挤出杆(302)与下压块(305)之间通过活动轴(303)活动安装,且下压块(305)的前端固定安装有下压板(306)。

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