[实用新型]PECVD镀膜设备

说明书

本实用新型适用于纳米涂层技术领域，提供了一种PECVD镀膜设备。该设备包括微波电源、真空装置、加热蒸发装置、气体供应装置以及反应室，其中，反应室设有两个电板，纺织物材料放置在电板之间，通过电板与微波电源电连接，可以在反应室内产生高频电场。本实用新型的PECVD镀膜设备系统集成度高，镀膜过程都是在真空环境中完成，一个处理制程时间最短只有60分钟，工艺简单，效率极高，且整个反应过程完全清洁和环保，不会产生有害排放物。此外，本实用新型的PECVD镀膜设备在纺织物材料的表面产生的纳米涂层解决了纳米颗粒的团聚问题，得到一种类似纳米二氧化硅的薄膜，这种纳米聚合物涂层与织物材料以共价键结合，非常紧密和牢固，很难从织物材料表面脱离。

技术领域

本实用新型属于纳米涂层技术领域，具体涉及一种PECVD镀膜设备。

背景技术

太阳中的紫外线对人的身体伤害很大，因此可以通过在纺织物如衣服表面应用纳米技术对其进行表面处理，使其具有抗紫外线的功能，这种应用越来越普遍。中国专利申请号200810024108.9，200710046901.4和200910244972.4都公开了几种制备纳米涂层的方法，但上述方法都需要配制大量的溶液，并将基材浸在溶液中进行反应，并且制程复杂，且处理过程会产生大量有毒废液排放，这种处理方式极其耗费原料并且效率极低，而且又污染环境；中国专利申请号 200610154950.5公开了一种聚合物高分子材料表面改性的方法及其装置，利用该方法在聚合物高分子材料表面产生的类刚石薄膜虽然也有抗紫外线功能，但是硬度较高，亲水性和透气性都较差，如果应用在纺织物特别是衣服上，穿戴者会感到非常闷热和不舒适；中国专利申请号201210191334.2公开了一种清洁型抗紫外涂层织物，但是该专利对基布的表面结构有要求，应用范围较窄，且该专利的涂层厚度为毫米级，厚度较厚，所用紫外线反射剂为氧化锌或二氧化钛纳米微粒，这种方法容易产生纳米粒子团聚问题。

此外，现有技术中得到的纳米涂层与纺织物材料表面的结合大多为物理结合，这种结合不够紧密，得到的纺织物在经水洗几次后，表面的纳米涂层就会脱离。因此现有的涂覆技术需要改进。

实用新型内容

为解决上述问题，本申请提供一种PECVD(等离子体增强化学气相沉积)镀膜设备，用于在纺织物材料的表面产生纳米薄膜，本实用新型采用了如下技术方案：

本实用新型提供了一种PECVD镀膜设备，用于在纺织物材料的表面产生纳米薄膜，其中该镀膜设备包括：微波电源、真空装置、加热蒸发装置、气体供应装置以及反应室，其中，所述真空装置、气体供应装置和加热蒸发装置分别与反应室相连通；所述反应室设有两个电极板。

进一步地，所述两个电极板相互平行，且电极板与微波电源电连接，用于在反应室内产生高频电场。

进一步地，所述气体供应装置用于向反应室分别供应惰性气体和氧气。

进一步地，所述加热蒸发装置用于向反应室供应聚酰亚胺蒸汽。进一步地，所述PECVD镀膜设备还包括排空装置，与反应室相连通。

进一步地，所述反应室具有仓门，通过打开或关闭仓门用于取出或放置纺织物材料。

进一步地，所述加热蒸发装置的加热温度为500℃-850℃，聚酰亚胺蒸汽的流量为20sccm-50sccm。

进一步地，所述微波电源的功率为150W-300W。

进一步地，所述与微波电源电连接的电极板之一接地。