[实用新型]一种晶圆平移机构及反应装置

权利要求书

1.一种晶圆平移机构，其特征在于，包括：第一连接板、第一连接部、第一滑动组件、第二滑动组件、托盘、无杆气缸、第一惰轮组件、第二惰轮组件和过渡室，所述第一连接板上安装所述第一滑动组件，所述第一滑动组件端部穿设在所述过渡室内，所述第一连接板上安装所述第二滑动组件，所述第二滑动组件上安装所述第一连接部，所述第一连接部上设置所述托盘，所述无杆气缸安装在所述过渡室内，所述无杆气缸的移动体与所述第一连接板相连，所述第一惰轮组件和所述第二惰轮组件均安装在所述第一连接板上，所述第一惰轮组件和所述第二惰轮组件均与所述第一连接部和所述过渡室相连，所述第一惰轮组件用于在所述无杆气缸驱动所述第一连接板移动靠近所述过渡室时，带动所述第一连接部和所述托盘向靠近所述过渡室的一侧移动；所述第二惰轮组件用于在所述无杆气缸驱动所述第一连接板移动远离所述过渡室时，带动所述第一连接部和所述托盘向远离所述过渡室的一侧移动。

2.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第一惰轮组件包括第一惰轮、第一皮带、第一固定块和第二固定块，所述第一固定块设于所述过渡室内，所述第一惰轮设于所述第一连接板上且位于所述第一固定块远离所述过渡室开口的一侧，所述第二固定块设于所述第一连接部上远离所述过渡室的一侧，所述第一惰轮上绕设所述第一皮带，所述第一皮带的两端分别固定在所述第一固定块和所述第二固定块上。

3.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第二惰轮组件包括第二惰轮、第二皮带、第三固定块和第四固定块，所述第三固定块设于所述过渡室内，所述第四固定块设于所述第一连接部上，所述第二惰轮设于所述第一连接板上且位于所述第四固定块远离所述过渡室开口的一侧，所述第二惰轮上绕设所述第二皮带，所述第二皮带的两端分别固定在所述第三固定块和所述第四固定块上。

4.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第一滑动组件包括第一导轨和第一滑块，所述过渡室内固定安装固定座，所述固定座上安装所述第一导轨，所述第一导轨上滑动连接所述第一滑块，所述第一滑块与所述第一连接板固定连接。

5.根据权利要求4所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第一滑块为长条形滑块，且所述第一滑块的长度与所述第一连接板的长度相近。

6.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第二滑动组件包括第二导轨和第二滑块，所述第一连接板顶面固定安装所述第二导轨，所述第二导轨上滑动连接所述第二滑块，所述第二滑块与所述第一连接部固定连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第二滑块为长条形滑块，且所述第二滑块的长度与所述第一连接部的长度相近。

8.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述第一滑动组件、所述第二滑动组件、所述第一惰轮组件和所述第二惰轮组件的长度方向互相平行。

9.根据权利要求1所述的晶圆平移机构，其特征在于，所述托盘底面中心处固定安装限位销，所述第一连接部顶面开设限位槽，所述限位销能在所述限位槽内滑动用于调节所述托盘在所述第一连接部上的位置。

10.一种反应装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的晶圆平移机构。