[实用新型]一种花篮及硅片清洗设备

说明书

本实用新型实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，花篮包括相对的两个端板和设置于两个端板之间的至少一组夹持组件，一组夹持组件包括相对的两个用于夹持硅片的夹持杆；各端板均包括端板本体和设置于端板本体上的滑动组件，滑动组件与夹持杆的端部连接；各滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各夹持杆沿竖直方向移动，这样，硅片被夹持杆遮挡的区域可以露出，以进行充分清洗，从而使得整张硅片可以被充分清洗，提高了整张硅片的清洗效果。

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗的技术领域，具体涉及一种花篮及硅片清洗设备。

背景技术

目前，硅片清洗设备通常包括多个清洗槽，硅片插入花篮中在各个清洗槽之间转移，以对硅片进行清洗。

相关技术中，自硅片插入花篮之后，花篮的夹持杆与硅片相对位置始终保持不变，硅片固定位置始终被夹持杆的卡齿遮挡，导致硅片遮挡位置的清洗效果差，容易出现脏污残留。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种花篮及硅片清洗设备，以解决相关技术中硅片被花篮夹持杆的卡齿遮挡的位置清洗效果差，容易出现脏污残留的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供了一种花篮，所述花篮包括相对的两个端板和设置于两个所述端板之间的至少一组夹持组件，一组所述夹持组件包括相对的两个夹持杆；

各所述端板均包括端板本体和设置于所述端板本体上的滑动组件，所述滑动组件与所述夹持杆的端部连接；

各所述滑动组件可沿竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。

进一步地，各所述滑动组件包括：滑道和两个相对的滑块；

各所述滑道固定设置于对应的所述端板本体上，在所述花篮的宽度方向上，每个所述滑道具有相对的两个容纳槽，每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块；

两个所述端板上第一侧的所述滑块分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，第二侧的所述滑块分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接，所述第一侧和所述第二侧为所述花篮在其宽度方向上的中心面的两侧；

各所述滑块可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动，以带动各所述夹持杆沿所述竖直方向移动。

进一步地，所述滑道包括：两个矩形框；

一个所述矩形框包括两个相对的长边杆和连接两个所述长边杆的两个短边杆，以围成一个所述容纳槽，所述长边杆沿所述竖直方向设置；

在所述花篮的宽度方向上，各所述滑块的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆上，且所述第一侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆的两端固定连接，所述第二侧的两个所述滑块远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆的两端固定连接。

进一步地，各所述滑动组件还包括：推杆和两个第一移动杆，所述第一移动杆沿所述竖直方向设置；

所述推杆位于所述矩形框的底部，一个所述第一移动杆对应一个所述滑块，各所述第一移动杆的底端分别与所述推杆固定连接，各所述第一移动杆的顶端分别穿设相对的第一短边杆，并与对应的所述滑块的底端固定连接，所述第一短边杆为所述滑块底部的短边杆；

所述推杆可推动两个所述第一移动杆分别带动对应的滑块沿所述竖直方向移动。

进一步地，各所述滑动组件还包括：两个第二移动杆和两个弹性件，所述第二移动杆沿所述竖直方向设置；

一个所述第二移动杆对应一个所述滑块，在所述竖直方向上，各所述第二移动杆的底端分别与对应的所述滑块的顶端固定连接，各所述第二移动杆的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内，所述第二短边杆为所述滑块顶部的短边杆；