[实用新型]一种花篮及硅片清洗设备有效
申请号: | 202220469319.9 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN217444347U | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 马小龙;张璞;杨文斌;王浩;杨波;张喜存 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 赵娟 |
地址: | 750000 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 花篮 硅片 清洗 设备 | ||
1.一种花篮,其特征在于,所述花篮(1)包括相对的两个端板(10)和设置于所述端板(10)之间的至少一组夹持组件(11),一组所述夹持组件(11)包括相对的两个用于夹持硅片(2)的夹持杆(110);
各所述端板(10)均包括端板本体(101)和设置于所述端板本体(101)上的滑动组件(102),所述滑动组件(102)与所述夹持杆(110)的端部连接;
各所述滑动组件(102)可沿竖直方向移动,以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。
2.根据权利要求1所述的花篮,其特征在于,各所述滑动组件(102)包括:滑道(103)和两个相对的滑块(104);
各所述滑道(103)固定设置于对应的所述端板本体(101)上,在所述花篮(1)的宽度方向上,每个所述滑道(103)具有相对的两个容纳槽,每个所述容纳槽对应滑动设置一个所述滑块(104);
两个所述端板本体(101)上第一侧的所述滑块(104)分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接,第二侧的所述滑块(104)分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接,所述第一侧和所述第二侧为所述花篮(1)在其宽度方向上的中心面的两侧;
各所述滑块(104)可在对应的所述容纳槽内沿所述竖直方向移动,以带动各所述夹持杆(110)沿所述竖直方向移动。
3.根据权利要求2所述的花篮,其特征在于,所述滑道(103)包括:两个矩形框(105);
一个所述矩形框(105)包括两个相对的长边杆(1051)和连接两个所述长边杆(1051)的两个短边杆(1052),以围成一个所述容纳槽,所述长边杆(1051)沿所述竖直方向设置;
在所述花篮(1)的宽度方向上,各所述滑块(104)的两端分别滑动设置于靠近其的所述长边杆(1051)上,且所述第一侧的两个所述滑块(104) 远离所述中心面的一端分别与所述第一侧的夹持杆(110)的两端固定连接,所述第二侧的两个所述滑块(104)远离所述中心面的一端分别与所述第二侧的夹持杆(110)的两端固定连接。
4.根据权利要求3所述的花篮,其特征在于,各所述滑动组件(102)还包括:推杆(106)和两个第一移动杆(107),所述第一移动杆(107)沿所述竖直方向设置;
所述推杆(106)位于所述矩形框(105)的底部,一个所述第一移动杆(107)对应一个所述滑块(104),各所述第一移动杆(107)的底端分别与所述推杆(106)固定连接,各所述第一移动杆(107)的顶端分别穿设相对的第一短边杆,并与对应的所述滑块(104)的底端固定连接,所述第一短边杆为所述滑块(104)底部的短边杆(1052);
所述推杆(106)可推动两个所述第一移动杆(107)分别带动对应的滑块(104)沿所述竖直方向移动。
5.根据权利要求4所述的花篮,其特征在于,各所述滑动组件(102)还包括:两个第二移动杆(108)和两个弹性件(109),所述第二移动杆(108)沿所述竖直方向设置;
一个所述第二移动杆(108)对应一个所述滑块(104),在所述竖直方向上,各所述第二移动杆(108)的底端分别与对应的所述滑块(104)的顶端固定连接,各所述第二移动杆(108)的顶端分别位于相对的第二短边杆上设有的穿设孔内,所述第二短边杆为所述滑块(104)顶部的短边杆(1052);
两个所述弹性件(109)分别套设于两个所述第二移动杆(108)上,各所述弹性件(109)的一端分别抵接于对应的所述滑块(104)的顶端,另一端分别抵接于相对的所述第二短边杆的内壁;
在所述推杆(106)朝向所述滑块(104)移动的情况下,各所述弹性件(109)被压缩,各所述第二移动杆(108)穿出对应的所述穿设孔,在推动所述推杆(106)移动的力撤去的情况下,各所述弹性件(109)复位,以推动对应的所述滑块(104)复位。
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