[实用新型]一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构

说明书

本实用新型公开了一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构；采用无片篮机械手夹持硅片后，放置到顶片机构后，再下降到片篮内部后，可自动翻转片篮，并旋转到下料对接的吸附式机械臂，依次取出硅片后，直接装载到前开式出货盒内。

技术领域

本实用新型涉及一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。

背景技术

随着半导体行业的发展，对于硅片清洗的要求也越来越高。从有片篮发展到无片篮也是一种趋势，而对于无片篮的下料无疑是一大痛点，大部分都是用倒片机进行倒片后，装到片盒内，再由人工装载至前开式出货盒内。这样大大增加了人工成本，也增加了硅片被污染的风险。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的是提供方便上料硅片的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构。

实现本实用新型的技术方案如下

一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构。

所述翻转片篮组件设置在转动平台上，翻转片篮组件包括相对设置在转动平台上的两支座、片篮通过转轴可转动的安装在两支座之间，一支座外侧的转动平台上设有驱动转轴旋转的第一驱动器。

所述第一驱动机构包括安装在骨架上的的支撑平台、支撑平台底面设有第二驱动器、齿轮组以及转盘；所述齿轮组包括与第二驱动器连接的主动齿轮以及与主动齿轮啮合的从动齿轮；所述转盘位于支撑平台上方且与从动齿轮连接，转盘上设有支撑板，支撑板顶端与转动平台连接。

所述支撑板上还设有升降模组，升降模组包括设置在支撑板上的丝杆以及可在丝杆上移动的移动块；所述移动块连接有竖臂，竖臂顶端与顶片平台连接。

所述转动平台上设有凹槽，该凹槽位于片篮上料位的正下方；顶片平台位于凹槽正下方。

所述顶片平台截面呈U形。

所述底板底面四角处均设有支撑脚垫。

采用了上述技术方案，采用无片篮机械手夹持硅片后，放置到顶片机构后，再下降到片篮内部后，可自动翻转片篮，并旋转到下料对接的吸附式机械臂，依次取出硅片后，直接装载到前开式出货盒内。本实用新型，还具有以下优点：

1、既能翻转又能旋转片篮，更方便上料硅片。

2、适用于无片篮清洗，可配合机械臂自动下料装到前开式出货盒。

3、可安全运输并存储硅片，防止多次倒片产生碰撞与摩擦。

4、避免了人员接触，减少再次颗粒污染的风险。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的立体结构示意图；

图3为本实用新型的顶片平台结构示意图；

图4为本实用新型竖臂结构示意图；

附图中，1为骨架，2为顶板，3为底板，4为工作台，5为转动平台，6为翻转片篮组件，7为第一驱动机构，8为升降模组，9为凹槽，10为顶片平台，11为支撑脚垫；

6.1为支座，6.2为片篮，6.3为转轴，6.4为第一驱动器；

7.1为支撑平台，7.2为第二驱动器，7.4为从动齿轮，7.5为转盘，7.6为支撑板；

8.1为丝杆，8.2为移动块，8.3为竖臂。