[实用新型]一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构

权利要求书

1.一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，包括由四根骨架以及顶板和底板组成的工作台、转动平台以及装载硅片的翻转片篮组件；转动平台位于工作台顶板上，工作台底板上设有驱动转动平台旋转的第一驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述翻转片篮组件设置在转动平台上，翻转片篮组件包括相对设置在转动平台上的两支座、片篮通过转轴可转动的安装在两支座之间，一支座外侧的转动平台上设有驱动转轴旋转的第一驱动器。

3.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述第一驱动机构包括安装在骨架上的支撑平台、支撑平台底面设有第二驱动器、齿轮组以及转盘；所述齿轮组包括与第二驱动器连接的主动齿轮以及与主动齿轮啮合的从动齿轮；所述转盘位于支撑平台上方且与从动齿轮连接，转盘上设有支撑板，支撑板顶端与转动平台连接。

4.根据权利要求3所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述支撑板上还设有升降模组，升降模组包括设置在支撑板上的丝杆以及可在丝杆上移动的移动块；所述移动块连接有竖臂，竖臂顶端与顶片平台连接。

5.根据权利要求4所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述转动平台上设有凹槽，该凹槽位于片篮上料位的正下方；顶片平台位于凹槽正下方。

6.根据权利要求4所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述顶片平台截面呈U形。

7.根据权利要求1所述的一种适用于无片篮硅片清洗的旋转与翻转机构，其特征在于，所述底板底面四角处均设有支撑脚垫。