[实用新型]继电器控制装置和半导体测试设备

说明书

本实用新型提供了一种继电器控制装置和半导体测试设备，包括主机箱及与其连接的多个测试单元；测试单元包括开关模块、电源模块和并行连接的多个继电器；多个继电器通过开关模块与电源模块连接；主机箱分别与每个继电器连接。电源模块用于当开关模块接通时向每个继电器供电，当开关模块断开时停止供电；主机箱用于当每个继电器处于供电状态时，向每个继电器输出对应的控制信号，以控制每个继电器接通或断开。该装置通过每个测试单元中的开关模块控制对应的电源模块，实现对该测试单元中多个继电器的使能控制，不需要使用锁存芯片，从而可以避免因电磁干扰导致的锁存芯片误使能，进而避免由此产生的继电器误动作，提升了半导体测试的抗干扰能力。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试技术领域，尤其是涉及一种继电器控制装置和半导体测试设备。

背景技术

半导体自动化测试，是指利用自动测试设备(Automatic Test Equipment，ATE)对被测器件(Device Under Test，DUT)的各项参数指标进行检测，剔除残次品以控制半导体器件的出厂品质。在半导体自动化测试领域中，通常采用继电器实现DUT测试回路的搭建，随着封测厂商对测试效率要求的提高，ATE测试工位逐渐增加，相应继电器的数量成倍数上升，导致继电器控制信号数量大幅提升。相关技术中，一般通过锁存芯片配合使能信号实现少数控制器IO(In/Out，输入/输出)口控制多数继电器，然而在ATE中，尤其是高压大电流ATE系统中，当进行DUT测试时，由于电压和电流变化率较高，会产生较为严重的电磁辐射干扰，当电磁脉冲来临时，会在其锁存芯片的输入信号处产生毛刺，很容易就能满足一般的锁存芯片的使能时序要求，使锁存芯片在不该使能的时候使能，从而接收到错误的继电器控制信息并将该错误信息锁存，导致继电器误动作，造成ATE和DUT的损坏，因此，相关技术中，半导体测试的抗干扰能力较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种继电器控制装置和半导体测试设备，以提高半导体测试的抗干扰能力。

本实用新型提供的一种继电器控制装置，包括：主机箱，以及与主机箱分别串联的多个测试单元；其中，每个测试单元中包括开关模块、电源模块，以及并行连接的多个继电器；每个测试单元中，多个继电器通过开关模块与电源模块连接；主机箱分别与每个测试单元中的每个继电器连接；每个测试单元中，电源模块用于当所连接的开关模块接通时，向并行连接的每个继电器供电，还用于当所连接的开关模块断开时，停止向并行连接的每个继电器供电；主机箱用于当并行连接的每个继电器处于供电状态时，向每个继电器输出对应的控制信号，以控制每个继电器接通或断开。

进一步的，每个测试单元中还包括与每个继电器分别连接的单向电流限制元件；每个单向电流限制元件的一端连接主机箱，另一端连接对应的继电器；单向电流限制元件用于限定电源模块的电流流向继电器。

进一步的，单向电流限制元件包括二极管；主机箱与每个二极管的负极连接，二极管的正极连接对应的继电器。

进一步的，每个测试单元中的继电器的数量相同，多个测试单元之间的多个继电器一一对应；多个测试单元中，相对应的多个继电器共用同一个控制信号。

进一步的，主机箱包括：主控芯片和至少一个继电器驱动芯片；主控芯片分别与至少一个继电器驱动芯片连接；主控芯片用于向至少一个继电器驱动芯片输出第一触发信号；至少一个继电器驱动芯片用于接收第一触发信号，输出第一触发信号对应的控制信号。

进一步的，主机箱包括：主控芯片、缓冲芯片和至少一个继电器驱动芯片；主控芯片通过缓冲芯片分别与至少一个继电器驱动芯片连接；主控芯片用于向缓冲芯片输出第二触发信号；缓冲芯片用于接收第二触发信号，提升第二触发信号的功率，输出提升功率后的第三触发信号；至少一个继电器驱动芯片用于接收第三触发信号，输出第三触发信号对应的控制信号。