[实用新型]一种翻转整片机构

权利要求书

1.一种翻转整片机构，用于翻转和整理多个硅片(100)，其特征在于，包括：

支架(200)，所述支架(200)上连接有转动组件(210)；

翻转台(300)，连接在所述转动组件(210)上，所述翻转台(300)用于放置硅片(100)，所述转动组件(210)用于驱动所述翻转台(300)旋转；

整片组件(400)，安装于所述翻转台(300)，用于对所述硅片(100)整片以使多个所述硅片(100)对齐；

吹气组件(500)，用于向所述翻转台(300)上的所述硅片(100)吹气以减少多个所述硅片(100)之间的摩擦。

2.根据权利要求1所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述翻转台(300)连接有限位组件(600)，所述限位组件(600)用于限制所述硅片(100)在与所述翻转台(300)垂直的方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述限位组件(600)包括限位气缸(610)和限位板(620)，所述限位气缸(610)的固定端与所述翻转台(300)连接，所述限位气缸(610)的伸缩端与所述限位板(620)连接，所述限位板(620)具有限制所述硅片(100)在垂直于所述翻转台(300)的方向上移动的第一位置和避让所述硅片(100)在垂直于所述翻转台(300)的方向上移动路径的第二位置，所述限位气缸(610)驱动所述硅片(100)在第一位置与第二位置之间切换。

4.根据权利要求3所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述限位组件(600)对称设置有两组。

5.根据权利要求1所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述整片组件(400)包括整片气缸(410)和整片板(420)，所述整片气缸(410)的固定端与所述翻转台(300)连接，所述整片气缸(410)的伸缩端与所述整片板(420)相连，所述翻转台(300)边缘设有定位柱(310)，所述整片板(420)能与所述硅片(100)远离所述定位柱(310)的一侧相抵，所述整片气缸(410)用于带动所述整片板(420)朝所述定位柱(310)移动，所述整片板(420)能推动多个所述硅片(100)对齐。

6.根据权利要求5所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述定位柱(310)与所述整片组件(400)对应设置有两组，且两个所述整片组件(400)中的所述整片板(420)运动方向不同。

7.根据权利要求1所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述吹气组件(500)包括吹气管(510)，所述吹气管(510)竖直设置，所述吹气管(510)周壁开设有多个朝向所述翻转台(300)的气孔(511)。

8.根据权利要求7所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述吹气组件(500)包括供气接头(520)，所述供气接头(520)通过管路连接能够提供压缩空气的气源，所述吹气管(510)底端与所述供气接头(520)相连通。

9.根据权利要求8所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述转动组件(210)包括伺服电机(211)和减速器(212)，所述伺服电机(211)和所述减速器(212)均连接在所述支架(200)上，所述减速器(212)的输入端与所述伺服电机(211)相连，所述减速器(212)的输出端与所述翻转台(300)相连。

10.根据权利要求9所述的一种翻转整片机构，其特征在于：所述转动组件(210)驱动所述翻转台(300)旋转的角度为90度，以实现所述硅片(100)水平状态和竖直状态的切换。