[实用新型]一种新型单晶炉热场结构

说明书

本实用新型提供了一种新型单晶炉热场结构。包括坩埚埚体，所述坩埚埚体上方设置有导流筒，所述坩埚埚体下方设置有坩埚埚托和埚体支撑杆；所述埚体支撑杆贯穿于坩埚埚托，所述埚体支撑杆顶端与坩埚埚体固定连接；所述坩埚埚托安装在埚体支撑杆上，所述坩埚埚托内侧与坩埚埚体抵接；所述坩埚埚体的埚沿与导流筒的距离80～120mm。本实用新型通过改善热场结构，增大加料空间，提高单次加料量，从而有效的解决此类问题，并且减少加料桶使用次数，间接的减少了料筒磕碰和炸裂的风险，加料空间的增大的同时，热场高度可以适当降低，随之加热功率也会有所降低，能耗适当减小。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，特别涉及一种新型单晶炉热场结构。

背景技术

目前，直拉单晶炉二次加料系统是通过利用石英加料桶，将其吊入副室内，打开隔离阀，闭合副室，充入氩气，吊入加料桶至坩埚埚体液面上方进行加料。此种结构进行二次加料时一次单筒加料重量有限，加满后续拉制棒数所需的料需经过加料-熔化-加料多次操作，不仅影响生产效率，而且反复加料也会大大提高石英加料桶和副室嗑裂或者降温不够导致的炸裂的风险。

实用新型内容

本实用新型提供一种直拉单晶炉，用以解决现有的单晶炉由于空间有限导致单次加料量不足、能耗大的情况。具体方案为：

一种新型单晶炉热场结构，包括坩埚埚体，

所述坩埚埚体上方设置有导流筒，所述坩埚埚体下方设置有坩埚埚托和埚体支撑杆；

所述埚体支撑杆贯穿于坩埚埚托，所述埚体支撑杆顶端与坩埚埚体固定连接；

所述坩埚埚托安装在埚体支撑杆上，所述坩埚埚托内侧与坩埚埚体抵接；

所述坩埚埚体的埚沿与导流筒的距离为80～120mm。

进一步的，所述埚体支撑杆径向设置有支撑座，

所述支撑座位于坩埚埚托下方，所述支撑座固定在埚体支撑杆上，所述支撑座与坩埚埚托之间还设置有加强件；

所述加强件卡接在坩埚埚托底部，所述加强件固定在支撑座上。

进一步的，所述加强件的外径尺寸大于支撑座的外径尺寸，且所述加强件的外经尺寸小于坩埚埚托的外径尺寸。

进一步的，所述加强件的厚度不超过55mm。

进一步的，所述加强件为托盘。

进一步的，所述坩埚埚托外依次还设置有加热器和保温筒，

所述保温筒和加热器均与坩埚埚体同心设置，所述保温筒、加热器以及坩埚埚体均位于单晶炉炉室内。

本实用新型的有益效果在于：

通过物理降低坩埚埚托的机械限位，在原热场高度下，导流筒位置不变，坩埚埚体埚沿与导流筒的距离增大55mm，从而实现熔料时，料液的液面与导流筒距离变大，加料空间增大，提高单次加料量，有效的减少加料桶使用次数，间接的减少了料筒磕碰和炸裂的风险。

通过在支撑件与坩埚埚托之间设置有加强件，增大了支撑杆的承重面积，有效地缓解托杆的承重压强，避免了支撑杆与坩埚埚托由于直接接触，由于支撑杆与坩埚埚体的接触面太小而造成的支撑杆受到的压力过大造成支撑杆易被压坏的问题；

同时坩埚埚体机械限位下降以后，可适当降低热场高度10-20mm，减小加热空间，从而有效的降低了能耗。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：