[实用新型]一种新型单晶炉热场结构有效

专利信息
申请号: 202220387736.9 申请日: 2022-02-25
公开(公告)号: CN217378091U 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 冯立学;张玉峰 申请(专利权)人: 西安维柯亿新能源科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 代理人: 李思源
地址: 712000 陕西省西安市西咸新区秦汉新城*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 单晶炉热场 结构
【权利要求书】:

1.一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,包括坩埚埚体(1),

所述坩埚埚体(1)上方设置有导流筒,所述坩埚埚体(1)下方设置有坩埚埚托(2)和埚体支撑杆(3);

所述埚体支撑杆(3)贯穿于坩埚埚托(2),所述埚体支撑杆(3)顶端与坩埚埚体(1)固定连接;

所述坩埚埚托(2)安装在埚体支撑杆(3)上,所述坩埚埚托2内侧与坩埚埚体(1)抵接;

所述坩埚埚体(1)的埚沿与导流筒的距离为80~120mm;

所述埚体支撑杆(3)径向设置有支撑座(4),

所述支撑座(4)位于坩埚埚托(2)下方,所述支撑座(4)固定在埚体支撑杆(3)上,所述支撑座(4)与坩埚埚托(2)之间还设置有加强件(5);

所述加强件(5)卡接在坩埚埚托(2)底部,所述加强件(5)固定在支撑座(4)上。

2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)的外径尺寸大于支撑座(4)的外径尺寸,且所述加强件(5)的外径尺寸小于坩埚埚托(2)的外径尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)的厚度不超过55mm。

4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)为托盘。

5.根据权利要求1-2任一所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述坩埚埚托(2)外依次还设置有加热器和保温筒,

所述保温筒和加热器均与坩埚埚体同心设置,所述保温筒、加热器以及坩埚埚体(1)均位于单晶炉炉室内。

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