[实用新型]一种新型单晶炉热场结构有效
申请号: | 202220387736.9 | 申请日: | 2022-02-25 |
公开(公告)号: | CN217378091U | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 冯立学;张玉峰 | 申请(专利权)人: | 西安维柯亿新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260 | 代理人: | 李思源 |
地址: | 712000 陕西省西安市西咸新区秦汉新城*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉热场 结构 | ||
1.一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,包括坩埚埚体(1),
所述坩埚埚体(1)上方设置有导流筒,所述坩埚埚体(1)下方设置有坩埚埚托(2)和埚体支撑杆(3);
所述埚体支撑杆(3)贯穿于坩埚埚托(2),所述埚体支撑杆(3)顶端与坩埚埚体(1)固定连接;
所述坩埚埚托(2)安装在埚体支撑杆(3)上,所述坩埚埚托2内侧与坩埚埚体(1)抵接;
所述坩埚埚体(1)的埚沿与导流筒的距离为80~120mm;
所述埚体支撑杆(3)径向设置有支撑座(4),
所述支撑座(4)位于坩埚埚托(2)下方,所述支撑座(4)固定在埚体支撑杆(3)上,所述支撑座(4)与坩埚埚托(2)之间还设置有加强件(5);
所述加强件(5)卡接在坩埚埚托(2)底部,所述加强件(5)固定在支撑座(4)上。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)的外径尺寸大于支撑座(4)的外径尺寸,且所述加强件(5)的外径尺寸小于坩埚埚托(2)的外径尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)的厚度不超过55mm。
4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述加强件(5)为托盘。
5.根据权利要求1-2任一所述的一种新型单晶炉热场结构,其特征在于,所述坩埚埚托(2)外依次还设置有加热器和保温筒,
所述保温筒和加热器均与坩埚埚体同心设置,所述保温筒、加热器以及坩埚埚体(1)均位于单晶炉炉室内。
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