[实用新型]热风烘烤装置

说明书

本申请实施例提供一种热风烘烤装置，包括腔室、烘烤架、气流单元、加热单元以及过滤单元；腔室具有与其内部相通的开口，烘烤架设于腔室内并与开口相对，气流单元设于腔室且相对于烘烤架背面处，加热单元则设于腔室内至少一侧处，过滤单元配置于烘烤架一侧处；其中，气流单元使腔室内部的空气产生气流流动方向，且过滤单元相对烘烤架位于所述气流流动方向的上风处。

技术领域

本申请涉及半导体制程技术领域，尤其涉及一种热风烘烤装置。

背景技术

现有应用于如半导体等制程上的烘烤设备，为了满足产品的高洁净度需求与标准，通常会在无尘无氧的环境下进行。而现有的设备中，往往使上述烘烤作业在封闭的腔室内进行；即在烘烤前，会先通过如鼓风机将无尘无氧室的空气作初步过滤后，再引入腔室内，且该腔室内部的空气也会进行如抽气等净化作业，以尽量满足空气洁净度的需求及其标准。

然而，仅管如此，由于在烘烤中以加热对空气进行升温，因此仍难以避免悬浮于空气中的微粒或微尘产生并附着在如晶圆等烘烤件的表面上，以致影响产品质量。

有鉴于此，本发明人为改善并解决上述的缺陷，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本申请。

实用新型内容

本申请的主要目的，在于可提供一种热风烘烤装置，其为使烘烤作业中达到更进一步地空气洁净度，同时兼具均匀升温以及可视产量搭配运作而具有节能的效能。

为了达成上述的目的，本申请提供一种热风烘烤装置，包括腔室、烘烤架、气流单元、加热单元以及过滤单元；腔室具有与其内部相通的开口，烘烤架设于腔室内并与开口相对，气流单元设于腔室且相对于烘烤架背面处，加热单元则设于腔室内至少一侧处，过滤单元配置于烘烤架一侧处；其中，气流单元使腔室内部的空气产生气流流动方向，且过滤单元相对烘烤架位于所述气流流动方向的上风处。

在一种实施方式中，腔室上设有用于开启或关闭开口的阀门。

在一种实施方式中，烘烤架上具有呈开口状的出入口，且出入口与腔室的开口相对。

在一种实施方式中，烘烤架两侧依上、下间隔叠置的间距而以分别对应设置有多个横向的气流通孔。

在一种实施方式中，气流单元包含风罩以及于风罩内运转的扇叶。

在一种实施方式中，风罩具有引流口与导流口，且引流口对应扇叶，而导流口则通过风罩延伸至腔室内一侧处。

在一种实施方式中，扇叶由马达带动而运转，且马达配置于腔室外。

在一种实施方式中，加热单元具有发热管，发热管由单一管体经迂回弯曲而构成或是由多个管体间隔配置而成。

在一种实施方式中，过滤单元由玻璃纤维材质构成。

在一种实施方式中，过滤单元具有彼此相远离的第一面与第二面，其中第二面邻近于烘烤架一侧处，而第一面则面向加热单元。

附图说明

图1是本申请的立体分解示意图。

图2是本申请的俯视剖面示意图。

图3是本申请的作动示意。

图4是本申请以多个型态构成的立体外观示意图。

附图标记说明：

1：腔室；

10：开口；

11：阀门；

2：烘烤架；

20：出入口；

200：烘烤件；

21：气流通孔；