[实用新型]热风烘烤装置有效
申请号: | 202220241115.X | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN216902823U | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 洪成都;曾麒文 | 申请(专利权)人: | 苏州桔云科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京市铸成律师事务所 11313 | 代理人: | 王丹丹;包莉莉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热风 烘烤 装置 | ||
1.一种热风烘烤装置,其特征在于,包括:
腔室,具有与其内部相通的开口;
烘烤架,设于所述腔室内并与所述腔室的开口相对;
气流单元,设于所述腔室且相对于所述烘烤架背面处;
加热单元,设于所述腔室内至少一侧处;以及
过滤单元,配置于所述烘烤架一侧处;
其中,所述气流单元使所述腔室内部的空气产生气流流动方向,且所述过滤单元相对所述烘烤架位于所述气流流动方向的上风处。
2.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述腔室上设有用于开启或关闭所述开口的阀门。
3.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述烘烤架上具有呈开口状的出入口,且所述出入口与所述腔室的开口相对。
4.如权利要求1或3所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述烘烤架两侧依上、下间隔叠置的间距而以分别对应设置有多个横向的气流通孔。
5.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述气流单元包含风罩以及于所述风罩内运转的扇叶。
6.如权利要求5所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述风罩具有引流口与导流口,且所述引流口对应所述扇叶,而所述导流口则通过所述风罩延伸至所述腔室内一侧处。
7.如权利要求5或6所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述扇叶由马达带动而运转,且所述马达配置于所述腔室外。
8.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述加热单元具有发热管,所述发热管由单一管体经迂回弯曲而构成或是由多个管体间隔配置而成。
9.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述过滤单元由玻璃纤维材质构成。
10.如权利要求1所述的热风烘烤装置,其特征在于,所述过滤单元具有彼此相远离的第一面与第二面,其中所述第二面邻近于所述烘烤架一侧处,而所述第一面则面向所述加热单元。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造