[实用新型]一种可提高硅晶体拉速的水冷屏及制备该水冷屏的模具

权利要求书

1.一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，包括筒状的内壁面，在所述内壁面上至少部分为曲面，所述曲面靠近水冷屏的下端面一侧设置；所述曲面能够在拉制硅晶体时增加与所述硅晶体接触的换热面积以提高所述硅晶体的纵向温度梯度来提高所述硅晶体的拉速。

2.根据权利要求1所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，所述曲面布满整个所述内壁面设置。

3.根据权利要求1或2所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，所述曲面包括设于所述内壁面上的凸点或凹点形成的若干曲线，所述曲线沿所述内壁面径向设置或轴向设置。

4.根据权利要求3所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，当所述曲面为所述曲线沿所述内壁面径向设置时，所述曲线为环形结构或螺旋上升的结构。

5.根据权利要求3所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，当所述曲面为所述曲线沿所述内壁面轴向设置时，所述曲线沿所述内壁面高度竖直设置或绕设于所述内壁面高度偏转设置。

6.根据权利要求4或5所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，所述曲线相邻紧挨设置或间隔并排设置。

7.根据权利要求6所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，所述曲线沿所述内壁面径向或轴向一体结构或半体结构。

8.根据权利要求4-5、7任一项所述的一种可提高硅晶体拉速的水冷屏，其特征在于，所述凸点或所述凹点为圆形结构或锥形结构或多边形结构。

9.一种模具，其特征在于，用于制备如权利要求1-8任一项所述的水冷屏。

10.根据权利要求9所述的一种模具，其特征在于，所述模具包括内模和外模，在所述内模靠近所述水冷屏一侧设有与所述曲面相配合的曲线壁。