[实用新型]一种适用于基板的位置校正及夹持装置

权利要求书

1.一种适用于基板的位置校正及夹持装置，用于放置基板，其特征在于，包括：

缓存台，所述缓存台的顶部具有若干个向内凹陷且与所述基板配合的吸附槽，所述吸附槽的底部开设有气孔，所述缓存台的内部具有气路通道，所述气路通道与所述气孔连通，所述吸附槽的两侧具有在竖直方向上贯穿所述缓存台且相对设置的通孔；

固定于所述缓存台的底部的夹持组件，所述夹持组件包括固定于所述缓存台的底部的驱动件以及与所述驱动件固定连接且用于夹持固定所述基板的夹持部，所述夹持部贯穿所述通孔设置，所述驱动件驱动所述夹持部远离或靠近所述基板；

与所述气路通道连接的真空发生器，所述真空发生器用于将所述吸附槽内的空气抽离以固定所述基板。

2.根据权利要求1所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述夹持部包括相对设置的第一夹持块以及第二夹持块，所述第一夹持块和所述第二夹持块分别与位于所述吸附槽两侧的所述通孔对应设置，所述驱动件驱动所述第一夹持块和所述第二夹持块朝相反的方向做直线运动以同时远离或靠近所述吸附槽。

3.根据权利要求2所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述夹持组件还包括设于所述缓存台的底部的导轨，所述导轨沿第一夹持块和所述第二夹持块的运动方向设置，所述导轨的外部套设有第一滑块和第二滑块，所述第一夹持块通过所述第一滑块与所述驱动件连接，所述第二夹持块通过所述第二滑块与所述驱动件连接。

4.根据权利要求3所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述第一夹持块包括与所述第一滑块固定连接的水平部以及与所述水平部垂直设置的竖直部，所述竖直部贯穿所述通孔设置；所述第一夹持块和所述第二夹持块的结构相同且对称设置。

5.根据权利要求4所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述吸附槽设置多个，多个所述吸附槽在所述缓存台上阵列分布，每个所述吸附槽的两侧均设有所述通孔。

6.根据权利要求5所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，每一列所述吸附槽对应设置一个夹持组件，所述第一夹持块和所述第二夹持块在每个所述通孔的位置均对应设有竖直部。

7.根据权利要求1所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述气路通道在所述缓存台的表面具有第一开口和第二开口，所述第一开口与所述真空发生器连接，所述第二开口上盖设有密封塞。

8.根据权利要求1所述的适用于基板的位置校正及夹持装置，其特征在于，所述适用于基板的位置校正及夹持装置还包括设于所述缓存台底部的支撑柱。