[实用新型]一种非接触式搬运装置有效
| 申请号： | 202220181497.1 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN216957986U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 刘欣欣;郭浩严 | 申请（专利权）人： | 西联机械技术（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 赵乃义 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触 搬运 装置 | ||
1.一种非接触式搬运装置，包括固定座(1)，其特征在于，所述固定座(1)的顶面转动安装有机械臂(2)，所述机械臂(2)的搬运端安装有搬运盘(3)，所述搬运盘(3)的侧面固定安装有四个弹簧减震杆(4)，四个所述弹簧减震杆(4)的伸缩端共同固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)的侧面贯通安装有四个无痕吸附盘(6)，所述搬运盘(3)的外缘上固定连接有控制筒(7)，所述控制筒(7)的开口端的内面滑动连接有套接传动杆(9)，所述控制筒(7)的另一端内面固定连接有固定杆(8)，所述套接传动杆(9)的侧面固定连接有导向杆(10)，所述控制筒(7)的内面固定连接有导向板(11)，所述导向杆(10)的贯穿滑动套接在导向板(11)的外缘上，所述导向杆(10)位于导向板(11)和控制筒(7)内面之间的外缘上套接有复位弹簧(12)，所述固定杆(8)和导向杆(10)相对的侧面上均固定安装有控制导电板(13)。
2.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运装置，其特征在于，所述机械臂(2)的侧面固定安装有控制箱(14)，所述控制箱(14)通过导线和两个控制导电板(13)之间相连接。
3.根据权利要求2所述的一种非接触式搬运装置，其特征在于，所述控制箱(14)的侧面固定安装有气泵(15)，所述气泵(15)的出气端通过导管和四个无痕吸附盘(6)之间相联通。
4.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运装置，其特征在于，所述复位弹簧(12)的一端固定连接在导向板(11)的侧面上，所述复位弹簧(12)的另一端固定连接在导向杆(10)的外缘上。
5.根据权利要求1所述的一种非接触式搬运装置，其特征在于，所述控制筒(7)的开口端和无痕吸附盘(6)位于相同的水平位置。
6.根据权利要求2所述的一种非接触式搬运装置，其特征在于，所述控制箱(14)中的控制器通过导线和气泵(15)之间相连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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