[实用新型]单晶炉快速冷却装置

说明书

本实用新型公开了单晶炉快速冷却装置，包括炉体，所述炉体的内壁固定连接有石墨加热器，所述炉体内部的顶部固定连接有导流筒，所述炉体的底部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至炉体的内部并固定连接有连接架，所述连接架的顶部活动连接有坩埚，所述炉体内部的顶部固定连接有位于导流筒外部的环形排喷，所述炉体的右侧固定连接有储液箱，所述储液箱的顶部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的进液口通过管道延伸至储液箱的内部。本实用新型通过设置储液箱，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀和环形排喷，来将液体二氧化碳输送进炉体内，从而对炉体的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体为单晶炉快速冷却装置。

背景技术

单晶炉是工业炉的一种，主要是将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，由于单晶炉在工作时，内部会产生大量热量，并且自身保温效果好，导致单晶炉的冷却装置无法对其进行快速降温，使得单晶炉的停炉工艺需要耗费较长时间。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供单晶炉快速冷却装置，具备提高单晶炉冷却装置工作效率的优点，解决了现有单晶炉冷却装置工作效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：单晶炉快速冷却装置，包括炉体；

所述炉体的内壁固定连接有石墨加热器，所述炉体内部的顶部固定连接有导流筒，所述炉体的底部固定连接有电机，所述电机的输出端延伸至炉体的内部并固定连接有连接架，所述连接架的顶部活动连接有坩埚；

所述炉体内部的顶部固定连接有位于导流筒外部的环形排喷，所述炉体的右侧固定连接有储液箱，所述储液箱的顶部固定连接有电磁阀，所述电磁阀的进液口通过管道延伸至储液箱的内部，所述电磁阀的排液口通过管道延伸至炉体的内部并与环形排喷的进液口连通。

作为本实用新型优选的，所述炉体的底部固定连接有位于电机外部的支撑柱，所述支撑柱的底部固定连接有减震器。

作为本实用新型优选的，所述储液箱的右侧固定连接有气压表，所述气压表的探测头贯穿储液箱并延伸至储液箱的内部。

作为本实用新型优选的，所述炉体的正面固定连接有温度检测器，所述温度检测器的传感头贯穿炉体并延伸至炉体的内部。

作为本实用新型优选的，所述炉体内部的底部通过支撑杆固定连接有位于连接架外部的辅助环，所述辅助环的内侧活动连接有滚珠，所述滚珠的内侧与连接架的表面活动连接。

作为本实用新型优选的，所述连接架的顶部开设有四棱槽，所述坩埚的底部固定连接有四棱块，所述四棱块的底部延伸至四棱槽的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置储液箱，来储存液态二氧化碳，并利用电磁阀和环形排喷，来将液体二氧化碳输送进炉体内，从而对炉体的内部进行快速降温，最终提高了冷却装置的工作效率。

2、本实用新型通过设置支撑柱和减震器，来吸收单晶炉工作时所产生的震动，从而对单晶炉进行减震降噪。

3、本实用新型通过设置气压表，来检测储液箱内的气压，方便工人判断储液箱内液体二氧化碳的储量。

4、本实用新型通过设置温度检测器，来对炉体内温度进行检测，从而方便工人实时查看炉体内部的温度，便于工人判断单晶炉内部工作情况。

5、本实用新型通过设置辅助环和滚珠，来对连接架进行限位，避免连接架发生倾斜，导致坩埚与炉体内壁发生碰撞。

6、本实用新型通过设置四棱槽和四棱块，来将坩埚与连接架进行连接，同时方便工人对坩埚进行更换。

附图说明