[实用新型]单晶炉快速冷却装置有效

专利信息
申请号: 202220118944.9 申请日: 2022-01-18
公开(公告)号: CN216738631U 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 张勇;侯玉国;苏学民 申请(专利权)人: 山东颂杨新材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06
代理公司: 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 代理人: 刘燕丽
地址: 274399 山东省菏泽*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 快速 冷却 装置
【权利要求书】:

1.单晶炉快速冷却装置,其特征在于,包括炉体(1);

所述炉体(1)的内壁固定连接有石墨加热器(2),所述炉体(1)内部的顶部固定连接有导流筒(3),所述炉体(1)的底部固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端延伸至炉体(1)的内部并固定连接有连接架(5),所述连接架(5)的顶部活动连接有坩埚(6);

所述炉体(1)内部的顶部固定连接有位于导流筒(3)外部的环形排喷(7),所述炉体(1)的右侧固定连接有储液箱(8),所述储液箱(8)的顶部固定连接有电磁阀(9),所述电磁阀(9)的进液口通过管道延伸至储液箱(8)的内部,所述电磁阀(9)的排液口通过管道延伸至炉体(1)的内部并与环形排喷(7)的进液口连通。

2.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)的底部固定连接有位于电机(4)外部的支撑柱(10),所述支撑柱(10)的底部固定连接有减震器(11)。

3.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述储液箱(8)的右侧固定连接有气压表(12),所述气压表(12)的探测头贯穿储液箱(8)并延伸至储液箱(8)的内部。

4.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)的正面固定连接有温度检测器(13),所述温度检测器(13)的传感头贯穿炉体(1)并延伸至炉体(1)的内部。

5.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)内部的底部通过支撑杆固定连接有位于连接架(5)外部的辅助环(14),所述辅助环(14)的内侧活动连接有滚珠(15),所述滚珠(15)的内侧与连接架(5)的表面活动连接。

6.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述连接架(5)的顶部开设有四棱槽(16),所述坩埚(6)的底部固定连接有四棱块(17),所述四棱块(17)的底部延伸至四棱槽(16)的内部。

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