[实用新型]单晶炉快速冷却装置有效
| 申请号: | 202220118944.9 | 申请日: | 2022-01-18 | 
| 公开(公告)号: | CN216738631U | 公开(公告)日: | 2022-06-14 | 
| 发明(设计)人: | 张勇;侯玉国;苏学民 | 申请(专利权)人: | 山东颂杨新材料有限公司 | 
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/20;C30B29/06 | 
| 代理公司: | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人: | 刘燕丽 | 
| 地址: | 274399 山东省菏泽*** | 国省代码: | 山东;37 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶炉 快速 冷却 装置 | ||
1.单晶炉快速冷却装置,其特征在于,包括炉体(1);
所述炉体(1)的内壁固定连接有石墨加热器(2),所述炉体(1)内部的顶部固定连接有导流筒(3),所述炉体(1)的底部固定连接有电机(4),所述电机(4)的输出端延伸至炉体(1)的内部并固定连接有连接架(5),所述连接架(5)的顶部活动连接有坩埚(6);
所述炉体(1)内部的顶部固定连接有位于导流筒(3)外部的环形排喷(7),所述炉体(1)的右侧固定连接有储液箱(8),所述储液箱(8)的顶部固定连接有电磁阀(9),所述电磁阀(9)的进液口通过管道延伸至储液箱(8)的内部,所述电磁阀(9)的排液口通过管道延伸至炉体(1)的内部并与环形排喷(7)的进液口连通。
2.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)的底部固定连接有位于电机(4)外部的支撑柱(10),所述支撑柱(10)的底部固定连接有减震器(11)。
3.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述储液箱(8)的右侧固定连接有气压表(12),所述气压表(12)的探测头贯穿储液箱(8)并延伸至储液箱(8)的内部。
4.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)的正面固定连接有温度检测器(13),所述温度检测器(13)的传感头贯穿炉体(1)并延伸至炉体(1)的内部。
5.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述炉体(1)内部的底部通过支撑杆固定连接有位于连接架(5)外部的辅助环(14),所述辅助环(14)的内侧活动连接有滚珠(15),所述滚珠(15)的内侧与连接架(5)的表面活动连接。
6.根据权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置,其特征在于:所述连接架(5)的顶部开设有四棱槽(16),所述坩埚(6)的底部固定连接有四棱块(17),所述四棱块(17)的底部延伸至四棱槽(16)的内部。
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