[实用新型]一种碳化硅用半导体检测设备

权利要求书

1.一种碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，包括：

主体；

开设于所述主体内部的检测仓；

设置于所述检测仓内部的承台；

设置于所述主体底部的水仓；

设置于所述主体顶部的雾气仓；

设置于所述水仓内部用于对半导体进行蒸煮检测的蒸汽组件；以及

设置于所述雾气仓内部用于检测半导体封装稳定性的吹气组件。

2.根据权利要求1所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述主体一侧设置有控制面板，所述蒸汽组件包括：

设置于所述水仓内部的加热板，且所述加热板与控制面板电性连接；

设置于所述水仓顶部的蒸汽管，所述蒸汽管顶部与雾气仓底部相连接，且所述蒸汽管内部分别与水仓和雾气仓内部相导通；

设置于所述蒸汽管内部的鼓风机，且所述鼓风机与控制面板电性连接。

3.根据权利要求1所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述吹气组件包括：

设置于所述雾气仓底部的转板，且所述转板与雾气仓底部转动连接；

设置于所述转板底部的喷头。

4.根据权利要求3所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述雾气仓顶部内壁设置有旋转电机，所述旋转电机底部驱动连接有驱动轴，所述驱动轴底部与转板固定连接。

5.根据权利要求1所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述承台两侧均设置有斜面，所述检测仓底部通过转轴转动连接有挡板，所述挡板顶部设置有弧形弹簧，所述弧形弹簧顶部一侧与蒸汽管相连接。

6.根据权利要求1所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述承台顶部开设有两个夹持槽，所述夹持槽内部滑动连接有夹块，所述夹块一侧设置有夹持弹簧，且所述夹持弹簧另一侧与夹持槽内壁相连接。

7.根据权利要求6所述的碳化硅用半导体检测设备，其特征在于，所述夹持槽内部设置有限位杆，所述夹块内部开设有限位孔，且所述夹块通过限位孔与限位杆滑动连接。